[实用新型]用于镀膜工艺的喷淋头调平装置有效
| 申请号： | 201120070314.0 | 申请日： | 2011-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN202054892U | 公开（公告）日： | 2011-11-30 |
| 发明（设计）人： | 田华;桂鹏 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/455 | 分类号： | C23C16/455 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 镀膜 工艺 喷淋 平装 | ||
1.一种用于镀膜工艺的喷淋头调平装置，所述喷淋头的一侧对着晶圆，另一侧设有用于对喷淋头进行调平的三组调整机构，其特征在于，每个调整机构采用蜗轮蜗杆副调整机构。
2.根据权利要求1所述用于镀膜工艺的喷淋头调平装置，其特征在于：所述蜗轮蜗杆副调整机构包括蜗轮和蜗杆，所述蜗轮和所述蜗杆相啮合，所述蜗杆的一端与所述喷淋头固定连接，所述蜗轮转动时带动蜗杆边转动边上下移动。
3.根据权利要求2所述用于镀膜工艺的喷淋头调平装置，其特征在于：所述蜗杆的一端通过隔热层与所述喷淋头固定连接。
4.根据权利要求2所述用于镀膜工艺的喷淋头调平装置，其特征在于：所述蜗轮通过固定连接轴与一手轮固定连接。
5.根据权利要求2所述用于镀膜工艺的喷淋头调平装置，其特征在于：所述蜗杆包括相连接的螺杆部和光杆部，所述蜗杆在螺杆部与蜗轮相啮合，所述光杆部的外侧端与所述喷淋头固定连接。
6.根据权利要求5所述用于镀膜工艺的喷淋头调平装置，其特征在于：所述蜗杆的外侧设有蜗杆护套，所述蜗轮的外侧设有蜗轮护套，所述蜗杆护套和所述蜗轮护套固定连接。
7.根据权利要求5所述用于镀膜工艺的喷淋头调平装置，其特征在于：所述蜗杆护套的外侧端与顶盖固定连接。
8.根据权利要求5所述用于镀膜工艺的喷淋头调平装置，其特征在于：所述光杆部的外侧端通过隔热层与所述喷淋头固定连接。
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C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
