[实用新型]一种多晶硅磨削装置

权利要求书

1.一种多晶硅磨削装置，其特征在于：包括床身(1)、工作台(2)、滑动导轨(3)、底座(4)，所述工作台(2)安装于床身(1)一侧的滑动导轨(3)上，所述工作台(2)上设置有旋转台(13)，旋转台(13)上安装有压紧装置(5)，工作台(2)一侧安装有两个底座(4)，所述底座(4)内分别设置有粗精磨混合砂轮(6)和抛光砂轮(7)，所述粗精磨混合砂轮(6)和抛光砂轮(7)的外端面与压紧装置(5)上多晶硅锭(14)的端面相平行。

2.如权利要求1所述的一种多晶硅磨削装置，其特征在于：所述工作台(2)通过纵向伺服电机(8)、纵向滚珠丝杠安装于床身(1)。

3.如权利要求1所述的一种多晶硅磨削装置，其特征在于：所述旋转台(13)一侧连接有伺服电机。

4.如权利要求1所述的一种多晶硅磨削装置，其特征在于：所述工作台(2)两侧均设置有两个底座(4)。

5.如权利要求1所述的一种多晶硅磨削装置，其特征在于：所述底座(4)上安装有直线导轨(9)，所述直线导轨(9)上安装有进给拖板(10)，所述粗精磨混合砂轮(6)、所述抛光砂轮(7)分别安装在进给拖板(10)上。

6.如权利要求5所述的一种多晶硅磨削装置，其特征在于：所述进给拖板(10)连接横向滚珠丝杠，所述横向滚珠丝杠与横向伺服电机(12)连接。