[实用新型]硅棒定位装夹

说明书

技术领域

本实用新型属于单晶硅片制造工装，涉及一种硅棒定位装夹。

背景技术

在单晶硅片的制作工艺中，需要先将单晶硅圆棒切割成单晶硅方锭，但在单晶硅圆棒的制作过程中，很容易切割出较短的圆棒，为降低单晶硅圆棒的切割成本，提高切割机的工作效率，就需要将多根圆棒粘接在一起，形成一个较长的单晶硅圆棒，同时，还要将圆棒粘接在一个圆柱形的底座上，后续工艺的切割机可以夹持住底座后，再对单晶硅圆棒进行切割。

但现有技术的缺点是：要将多根圆棒准确地对位并粘接在一起，且必须在粘胶干透以前，防止其中任何一截圆棒出现滑移或转动，但现有技术还缺乏相应的稳定装夹。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种结构简单，易于对多段单晶硅圆棒和底座进行可靠定位的硅棒定位装夹。

为达到上述目的，本实用新型提供一种硅棒定位装夹，其关键在于：设置有水平底板，该水平底板上安装有三至四个结构一致的定位立柱，所述定位立柱均匀布置在同一圆圈的周边，每个所述定位立柱都开有一列螺纹通孔，所述螺纹通孔朝向所述圆圈的圆心，所述螺纹通孔中套装有定位螺栓。

当单晶硅圆棒和底座依次粘接在一起后，在将其放置在圆圈内，转动周边的定位立柱上的定位螺栓，使定位螺栓抵接在单晶硅圆棒的侧壁上，对单晶硅圆棒和底座进行定位，可以防止其滑移或转动，直到粘胶干透，就可以拆除硅棒定位装夹，取出单晶硅圆棒进行下一道工序。

所述定位立柱呈L形，该所述螺纹通孔分布在所述定位立柱的立边上，所述定位立柱的横边经螺钉安装在所述水平底板上。

本实用新型的显著效果是：结构简单，操作方便的硅棒定位装夹，能够对对多段单晶硅圆棒和底座进行快速可靠的定位，避免单晶硅圆棒和底座出现滑移或转动。

附图说明

图1本实用新型的结构示意图；

图2本实用新型的俯视图；

图3为实用新型的使用状态图。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步详细说明。

如图1、2所示，一种硅棒定位装夹，设置有水平底板1，该水平底板1上安装有三至四个结构一致的定位立柱2，所述定位立柱2均匀布置在同一圆圈的周边，每个所述定位立柱2都开有一列螺纹通孔，所述螺纹通孔朝向所述圆圈的圆心，所述螺纹通孔中套装有定位螺栓3。

三个结构一致的定位立柱2，相互间夹角为120度。本实施例采用四个结构一致的定位立柱2，相互间夹角为90度。

所述定位立柱2呈L形，该所述螺纹通孔分布在所述定位立柱2的立边上，所述定位立柱2的横边经螺钉4安装在所述水平底板1上。

其工作原理如下：

如图3所示：现在水平底板1固定三个定位立柱2，再将粘在一起的单晶硅圆棒5和底座6放在三个定位立柱2所在的圆圈内，然后利用螺钉4将第四个定位立柱2固定在水平底板1上，四个定位立柱2均匀固定在了单晶硅圆棒5和底座6的四周，再调节定位立柱2上的定位螺栓3，使底座6和每一节单晶硅圆棒5的四周都被定位螺栓3抵接住，就可以防止单晶硅圆棒和底座滑移或转动。