[实用新型]一种新型的多段工艺供气集成装置有效
申请号: | 201120059925.5 | 申请日: | 2011-03-09 |
公开(公告)号: | CN202047130U | 公开(公告)日: | 2011-11-23 |
发明(设计)人: | 靳伟;李惠;李跃华 | 申请(专利权)人: | 上海子创镀膜技术有限公司 |
主分类号: | C23C14/54 | 分类号: | C23C14/54 |
代理公司: | 上海衡方知识产权代理有限公司 31234 | 代理人: | 王福新 |
地址: | 201617 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 新型 工艺 供气 集成 装置 | ||
1.一种新型的多段工艺供气集成装置,其包括电磁阀、电磁阀板、通道管,其特征在于,所述电磁阀固定设置在电磁阀板的上部,以管螺纹与电磁阀板密封连接,通道管设置在电磁阀板内,所述电磁阀板的侧面还设有入气口,所述与入气口所在面相交的另一侧面设有出气口。
2.根据权利要求1所述多段工艺供气集成装置,其特征在于,所述入气口设有至少一段以上的入气口,所述出气口设有至少一段以上的出气口。
3.根据权利要求1所述多段工艺供气集成装置,其特征在于,所述通管道,分为入气通道管,出气通道管,所述入气通道管在入气口和电磁阀之间起连接作用,所述出气通道管在出气口和电磁阀之间起连接作用。
4.根据权利要求1所述新型的多段工艺供气集成装置,其特征在于,所述出气口分为主气体出气口和辅助气体出气口。
5.根据权利要求3或4所述多段工艺供气集成装置,其特征在于,所述出气通道管又分为主气体出气通道管和辅助气体出气通道管,主气体出气通道管与主气体出气口相通,辅助气体出气通道管与辅助气体出气口相通。
6.根据权利要求1所述新型的多段工艺供气集成装置,其特征在于,每个出气口还通过软管与质量流量控制器相连。
7.根据权利要求6所述新型的多段工艺供气集成装置,其特征在于,所述质量流量控制器设置在真空手阀集成板上,所述真空手阀集成板内还设置有真空手阀,所述真空手阀集成板固定设置在真空腔体内。
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