[实用新型]一种用于材料激光性能的测量设备

权利要求书

1.一种用于材料激光性能的测量设备，其特征是：包括至少一个激光光源(1)，所述激光光源(1)的主光轴上设有比例分光镜(3)，所述比例分光镜(3)的主传输光路上设有第二激光能量探测器(9)与可旋转的样品台(6)形成的主测量光路或能绕样品台(6)转动的第二激光能量探测器(9)与样品台(6)形成的主测量光路；副传输光路上设有能对激光光源(1)发射功率稳定性监控的第一激光能量探测器(8)；所述样品台(6)的反射光路上设有反射镜(7)，样品台(6)上材料反射的激光通过反射镜(7)反射到第二激光能量探测器(9)内，第一激光能量探测器(8)和第二激光能量探测器(9)的输出端与数据处理器(12)相连；数据处理器(12)根据第一激光能量探测器(8)探测的激光光源(1)的激光能量信号，调整并控制激光光源(1)的输出功率，使激光光源(1)的输出功率保持稳定；数据处理器(12)对第二激光能量探测器(9)探测的激光能量信号处理后，存储并输出相应的材料激光反射能量角度分布特性。

2.根据权利要求1所述的用于材料激光性能的测量设备，其特征是：所述比例分光镜(3)与样品台(6)间设有起偏器(4)；样品台(6)与反射镜(7)间设有与起偏器(4)相匹配设置的检偏器(5)；激光光源(1)的主光轴的光束通过比例分光镜(3)、起偏器(4)后输入样品台(6)上的材料上，样品台(6)上材料反射的激光通过检偏器(5)、反射镜(7)后反射到第二激光能量探测器(9)内；数据处理器(12)对第二激光能量探测器(9)探测的激光能量信号进行处理，存储并输出相应的材料激光偏振特性。

3.根据权利要求1所述的用于材料激光性能的测量设备，其特征是：在反射镜(7)与第二激光能量探测器(9)传输光路上设有用于检测反射激光光谱特性的光谱仪(10)，所述光谱仪(10)的输出端与数据处理器(12)相连，所述数据处理器(12)处理光谱仪(10)输入的光谱特性信号，存储并输出相应的材料反射激光的光谱特性。

4.根据权利要求1所述的用于材料激光性能的测量设备，其特征是：所述数据处理器(12)包括单片机及工控机，所述工控机通过单片机与第一激光能量探测器(8)和第二激光能量探测器(9)相连。

5.根据权利要求1所述的用于材料激光性能的测量设备，其特征是：所述激光光源(1)包括为四个平行布置的半导体泵浦激光发射器，所述激光发射器安装于导轨(2)上。

6.根据权利要求1或5所述的用于材料激光性能的测量设备，其特征是：所述激光光源(1)输出的激光波长为532nm、650nm、980nm或1064nm。

7.根据权利要求1所述的用于材料激光性能的测量设备，其特征是：所述样品台(6)为插片式样品台。

8.根据权利要求2所述的用于材料激光性能的测量设备，其特征是：所述起偏器(4)与检偏器(5)为格兰-泰勒棱镜。

9.根据权利要求1所述的用于材料激光性能的测量设备，其特征是：所述比例分光镜(3)的材料包括石英，比例分光镜(3)将激光光源(1)发出能量的5％分光后输入到激光能量探测器(8)内，激光能量探测器(8)将比例分光镜(3)分光后探测的能量输入到数据处理器(12)内，数据处理器(12)根据激光能量探测器(8)探测分光能量信号控制激光光源(1)的输出，使激光光源(1)的输出功率保持稳定。

10.根据权利要求1所述的用于材料激光性能的测量设备，其特征是：所述样品台(6)及第二激光能量探测器(9)的旋转均通过步进电机驱动。