[实用新型]三氯氢硅生产系统有效
| 申请号： | 201120057071.7 | 申请日： | 2011-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN201981013U | 公开（公告）日： | 2011-09-21 |
| 发明（设计）人： | 陈琳;齐林喜;刘占卿 | 申请（专利权）人： | 内蒙古盾安光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 张群峰;杨楷 |
| 地址： | 015543 内蒙自治*** | 国省代码： | 古巴;CU |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 三氯氢硅 生产 系统 | ||
【权利要求书】：
1. 一种三氯氢硅生产系统，其特征在于，包括：
具有第一入口、第二入口和出口的氢化反应器；
与氢化反应器的出口连通的冷凝器；
分别与冷凝器连通的氢气存储器和冷凝料存储器；
与冷凝料存储器连通的第一精馏塔；
与第一精馏塔连通的第二精馏塔；
与第二精馏塔连通的四氯化硅存储器；
与四氯化硅存储器连通的四氯化硅汽化器；
分别与氢气存储器和四氯化硅汽化器连通的混合器；
与混合器连通的加热器，加热器还与氢化反应器的第一入口连通；
与第一精馏塔连通的二氯二氢硅存储器；以及
与二氯二氢硅存储器连通的二氯二氢硅汽化器，二氯二氢硅汽化器还与氢化反应器的第二入口连通。
2. 根据权利要求1所述的三氯氢硅生产系统，其特征在于，氢化反应器还具有用于接收硅粉和催化剂的第三入口。
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