[实用新型]真空泵用排气装置

权利要求书

1.一种真空泵用排气装置，其特征在于：包括外罩(5)、排气管(3)、传输管(4)及进气法兰(8)，其中排气管(3)设置在外罩(5)内，排气管(3)的顶端由外罩(5)穿出、与尾气处理装置相连接；所述传输管(4)安装在外罩(5)内，在外罩(5)的外表面设有进气法兰(8)，该进气法兰(8)的一端与真空泵相连，另一端与外罩(5)的内部连通；由进气法兰(8)进入外罩(5)内的气体经传输管(4)、通过排气管(3)排出至尾气处理装置。

2.按权利要求1所述的真空泵用排气装置，其特征在于：所述外罩(5)内分别设有上支撑板(2)及下支撑板(6)，排气管(3)及传输管(4)分别安装在上、下支撑板(2、6)上，其中上支撑板(2)上开有多个透气孔。

3.按权利要求2所述的真空泵用排气装置，其特征在于：所述排气管(3)的底端位于下支撑板(6)的下方，所述传输管(4)的顶端位于上支撑板(2)的上方、底端位于下支撑板(6)的下方。

4.按权利要求2所述的真空泵用排气装置，其特征在于：所述进气法兰(8)与外罩(5)内部连通的另一端位于上、下支撑板(2、6)之间。

5.按权利要求1所述的真空泵用排气装置，其特征在于：所述进气法兰(8)的一端通过真空管路(11)与真空泵相连，在真空管路(11)上并联有隔膜泵(12)；所述排气管(3)的顶端设有与隔膜泵(12)相对应的截止阀(10)，排气管(3)通过所述截止阀(10)与尾气处理装置相连接。

6.按权利要求1所述的真空泵用排气装置，其特征在于：所述外罩(5)的底部开有粉尘清洁口(9)，该粉尘清洁口(9)通过无氧铜圈密封。

7.按权利要求1所述的真空泵用排气装置，其特征在于：所述进气法兰(8)通过固定筋板(7)固接在外罩(5)上。