[实用新型]管路漏液侦测装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种侦测系统，且特别是涉及一种管路漏液侦测装置。

背景技术

目前半导体厂为了产量效能的提升，其设备安置的设计多采高密度的安排。因此，输送各式各样化学液体的管路及各种设备交错设置，若输送液体的管路不慎泄漏液体至半导体机台中，对半导体的生产会造成相当严重的影响。

举例来说，光阻(光致抗蚀剂)涂布机的光阻输送管需包覆用以控温的循环水管，当管路老化耗损后发生破裂、渗漏，常造成芯片缺陷及良率损失。然而，由于光阻涂布机的内部环境必须避免电气接触易燃液体(如光阻)，故对管路漏液的侦测形成限制。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种管路漏液侦测装置，其可即时进行管路的漏液侦测及监控。

本实用新型的目的在于提供另一种管路漏液侦测装置，其可有效地防止工安问题的产生。

为达上述目的，本实用新型提出一种管路漏液侦测装置，其用以侦测管路的漏液，且包括套管、反射镜、感湿薄膜、光源及光侦测器。套管环绕管路，套管的下部与管路密合，且位于下部上方的套管与管路之间形成盛液空间。反射镜设置于套管的外壁上。感湿薄膜覆盖反射镜，其中感湿薄膜在干燥时具有第一光穿透率，且与漏液接触后具有第二光穿透率，且第二光穿透率大于第一光穿透率。光源用以照射感湿薄膜。光侦测器用以接收来自反射镜的反射光。

依照本实用新型的一实施例所述，在上述的管路漏液侦测装置中，套管上例如是具有缺口，且缺口位于感湿薄膜上方。

依照本实用新型的一实施例所述，在上述的管路漏液侦测装置中，套管例如是一体成型或由多个部件组成。

依照本实用新型的一实施例所述，在上述的管路漏液侦测装置中，当套管由多个部件组成时，套管还包括结合装置，用以组合部件。

依照本实用新型的一实施例所述，在上述的管路漏液侦测装置中，套管例如是设置于管路的末端，此末端位于该管路的低位处。

依照本实用新型的一实施例所述，在上述的管路漏液侦测装置中，光源与光侦测器例如是一体成型或为互相分离的装置。

依照本实用新型的一实施例所述，在上述的管路漏液侦测装置中，还包括警报器，耦接于光侦测器，用于反射光的强度增加时警报器发出警报信号。

依照本实用新型的一实施例所述，在上述的管路漏液侦测装置中，警报器例如是光警报器、声音警报器或上述警报器的组合。

依照本实用新型的一实施例所述，在上述的管路漏液侦测装置中，管路例如是用以包覆光阻输送管的控温管。

本实用新型提出另一种管路漏液侦测装置，其用以侦测管路的漏液，且包括套管、感湿薄膜、光源及光侦测器。套管环绕管路，套管的下部与管路密合，且位于下部上方的套管与管路之间形成盛液空间。感湿薄膜设置于套管的外壁上，其中感湿薄膜在干燥时具有第一光穿透率，且与漏液接触后具有第二光穿透率，且第二光穿透率大于第一光穿透率。光源用以照射感湿薄膜。光侦测器用以接收穿透感湿薄膜的穿透光。

依照本实用新型的另一实施例所述，在上述的管路漏液侦测装置中，套管上例如是具有缺口，且缺口位于感湿薄膜上方。

依照本实用新型的另一实施例所述，在上述的管路漏液侦测装置中，还包括警报器，耦接于光侦测器，用于穿透光的强度增加时警报器发出警报信号。

本实用新型的优点在于，基于上述，在使用本实用新型所提出的管路漏液侦测装置时，当管路产生漏液时，漏液会流入由盛液空间中。由盛液空间中流出的漏液会润湿感湿薄膜，而使感湿薄膜的光穿透率增加，所以由光侦测器所侦测到的反射光或穿透光的强度增加。通过光侦测器侦测到反射光或穿透光的强度增加，可得知管路发生漏液的情况，因此可即时进行管路的漏液侦测及监控。

为让本实用新型的上述和其他目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。

附图说明

图1为本实用新型的一实施例的管路漏液侦测装置在未产生漏液时的示意图；

图2为本实用新型的一实施例的管路漏液侦测装置在产生漏液时的示意图；

图3为本实用新型的另一实施例的套管的示意图；

图4为本实用新型的一实施例的管路漏液侦测装置应用于光阻涂布机的示意图；

图5为本实用新型的第二实施例的管路漏液侦测装置在未产生漏液时的示意图；

图6为图5中的感湿薄膜与光侦测器的放大示意图；

图7为本实用新型的第二实施例的管路漏液侦测装置在产生漏液时的示意图；

图8为图7中的感湿薄膜与光侦测器的放大示意图。