[实用新型]三氯氢硅合成废液汽化装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种三氯氢硅合成废液汽化装置，特别适用于加压三氯氢硅合成尾气废液的汽化处理，以防止尾气中的金属氯化物沉积于管道内产生堵塞。

背景技术

目前、国内三氯氢硅的合成主要采用湿法除尘法进行制取，通过将三氯氢硅合成产生的氯硅烷冷凝后的液体对氯硅烷中的金属氯化物及杂质进行淋洗，对淋洗后塔底的废液进行排放后进入残液系统，废液经氢氧化钠溶液进行淋洗处理。但由于洗涤塔底部废液中含有大量的金属氯化物，比如，氯化铝、氯化铁、氯化钙等金属杂质，此类杂质冷凝后容易变成固体，沉积于管道内(据文献记载，金属氯化物的冷凝温度为80-90℃)。因而，通过管道输送残液时，金属氯化物很快凝固沉积在管道中，使管道产生堵塞，并且拆卸管道时此类物质容易出现着火闪爆，这些严重制约了三氯氢硅合成工艺连续稳定的运行。

现有针对三氯氢硅废液汽化的装置还没有报道，本装置增加了就地与远传压力表(5，6)，同时增加了安全阀接口(4)增加了设备的安全性。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是针对现有技术中存在的上述不足，提供一种可提高三氯氢硅合成尾气处理系统的处理能力，减少管道堵塞的三氯氢硅合成废液汽化装置。

解决本实用新型技术问题所采用的技术方案是该三氯氢硅合成废液汽化装置，包括壳体和包覆在壳体外的外夹套，所述壳体上设有废液进口，壳体顶部设有废液汽化出口，外夹套所包覆的壳体部分处于废液进口的下方，外夹套为中空夹套，外夹套上部设有蒸汽进口，其底部设有冷凝液出口。

优选的是，所述壳体底部还设有排渣检修口。

优选的是，所述壳体顶部还设有安全阀接口，通过所述安全阀接口，使本装置可与外部安全阀连接，以防止汽化后压力较高而造成设备的损坏。

进一步优选的是，所述壳体顶部还设有就地压力表接口和远传压力表接口，通过在就地压力表接口和远传压力表接口上分别装设相应的压力表，以便于在装置的近端和远端都可以随时观察装置内部压力的变化情况。

优选的是，所述壳体的外形为圆筒状。

优选的是，所述壳体的内径为500mm，其高度为1500mm。

优选的是，所述废液进口设于壳体的中部或上部。

其中，所述废液汽化出口可与氢氧化钠淋洗装置连接，使用氢氧化钠溶液对从废液汽化出口中排出的汽化后的残渣进行处理。所述废液进口可与三氯氢硅合成尾气处理系统连接，用于接收合成尾气处理系统中排出的废液残渣。

进一步优选的是，与所述废液进口、废液汽化出口、蒸汽进口、冷凝液出口连接的管道上分别设有法兰。并且，所述各个连接的管道采用蒸汽伴热进行加热。

从三氯氢硅合成尾气处理系统排出的废液进入本实用新型三氯氢硅合成废液汽化装置后，经外夹套的高温蒸汽汽化后，从本装置顶部的废液汽化出口排出后，再经后续的碱液淋洗装置进行淋洗，通过碱液淋洗实现对此废液的无污染处理。

废液流经本装置后发生汽化，因而不会在管道内产生沉积，从而减少了管道堵塞，减少了处理管道时产生闪爆的危险，有效避免了传统的三氯氢硅合成排液易出现管道堵塞，难以清理等缺点。同时，提高了三氯氢硅合成尾气处理系统的处理能力，大大延长了处理装置运行时间。并且，该装置的造价成本低。

本实用新型三氯氢硅合成废液汽化装置可以实现对高压氢硅合成炉尾气处理塔的连续稳定运行，同时可实现对尾气废液进行无污染处理。

附图说明

图1为本实用新型三氯氢硅合成废液汽化装置的结构示意图。

图中：1-外夹套；2-壳体；3-废液进口；4-安全阀接口；5-就地压力表接口；6-远传压力表接口；7-废液汽化出口；8-备用口；9-蒸汽进口；10-冷凝液出口；11-排渣检修口。

具体实施方式

为使本领域技术人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面结合附图和具体实施方式对本实用新型三氯氢硅合成废液汽化装置作进一步详细描述。

如图1所示，本实用新型三氯氢硅合成废液汽化装置包括壳体2和包覆在壳体2外的外夹套1。本实施例中，壳体为圆筒状，其内径为φ500mm，长度为1500mm。

壳体2上设有废液进口3，本实施例中，废液进口3设于壳体的中部。壳体顶部设有废液汽化出口7，壳体底部设有排渣检修口11，壳体2上还设有备用口8。

外夹套1所包覆的壳体部分始终都在废液进口3的下方。外夹套1为中空夹套，其内部可通入蒸汽。外夹套1上部设有蒸汽进口9，其底部设有冷凝液出口10。