[实用新型]一种氯化氢气体干燥装置

权利要求书

1.一种氯化氢气体干燥装置，其特征在于，包括塔体(14)，塔体(14)顶部设有氯化氢气体出口(2)，其底部设有氯硅烷液体出口(3)，塔体(14)上还设有氯化氢气体进口(1)、氯硅烷液体入口(4)、以及冷媒入口(6)和冷媒出口(7)，所述氯化氢气体进口(1)处装设有管道，所述管道在塔体内向下延伸，所述冷媒入口(6)和冷媒出口(7)设于塔体下部，冷媒入口(6)和冷媒出口(7)之间通过内盘管(13)连通。

2.根据权利要求1所述的干燥装置，其特征在于，所述氯化氢气体进口(1)处所装设的管道在塔体内向下延伸的距离为能使氯化氢气体通入塔体下部的氯硅烷液体中。

3.根据权利要求2所述的干燥装置，其特征在于，所述内盘管(13)中循环流通有冷媒，所述内盘管(13)中流通的冷媒能将塔体下部的氯硅烷的温度下降到25--15℃。

4.根据权利要求3所述的干燥装置，其特征在于，所述冷媒采用25℃的循环水或者-20℃的冷冻盐水。

5.根据权利要求1所述的干燥装置，其特征在于，所述氯硅烷液体出口(3)和氯硅烷液体入口(4)之间通过循环泵送系统连通。

6.根据权利要求5所述的干燥装置，其特征在于，所述循环泵送系统包括屏蔽泵(16)，所述屏蔽泵(16)的输入口通过管路与氯硅烷液体出口(3)连通，屏蔽泵(16)的输出口通过管路与氯硅烷液体入口(4)连通。

7.根据权利要求6所述的干燥装置，其特征在于，所述循环泵送系统中还包括有用于过滤固体二氧化硅的过滤器(15)，所述过滤器(15)设置在氯硅烷液体出口(3)与屏蔽泵(16)的输入口之间的管路上。

8.根据权利要求1-7之一所述的干燥装置，其特征在于，所述塔体(14)内输入的氯硅烷的液位高度为塔体高度的60-90％。

9.根据权利要求1-7之一所述的干燥装置，其特征在于，所述氯硅烷采用三氯化硅或四氯化硅。

10.根据权利要求1-7之一所述的干燥装置，其特征在于，所述塔体(14)内靠近塔体顶部的位置设有除沫器(11)；塔体(14)的下部间隔一定的高度设置有两个液位计接口，即液位计接口(8)和液位计接口(9)。