[实用新型]多温区蓝宝石单晶生长炉有效
| 申请号: | 201120040774.9 | 申请日: | 2011-02-17 |
| 公开(公告)号: | CN201942778U | 公开(公告)日: | 2011-08-24 |
| 发明(设计)人: | 李欣;裴广波 | 申请(专利权)人: | 李欣;裴广波 |
| 主分类号: | C30B11/00 | 分类号: | C30B11/00;C30B29/20 |
| 代理公司: | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 | 代理人: | 徐爱萍 |
| 地址: | 150070 黑龙江省哈尔滨市*** | 国省代码: | 黑龙江;23 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 多温区 蓝宝石 生长 | ||
1.一种多温区蓝宝石单晶生长炉,所述生长炉包括外壳(1)、隔热屏(2)、底部加热体(3)、坩锅(5)、坩锅盖(6)、一组引出电极(7)、保温层(9)和热应力缓冲棒(10),其特征在于所述生长炉还包括一组环形加热体(4)和加热体承载环(8),保温层(9)为敞口空心圆筒形,保温层(9)设在外壳(1)内,隔热屏(2)设在保温层(9)内,坩锅(5)设在隔热屏(2)内,热应力缓冲棒(10)的一端与坩锅(5)底部连接,热应力缓冲棒(10)的另一端依次穿过隔热屏(2)、保温层(9)与外壳(1)的底部接触,每个环形加热体(4)设置在坩锅(5)的外侧壁与隔热屏(2)之间,底部加热体(3)设置在坩锅(5)的底部与隔热屏(2)之间,坩锅盖(6)设置在坩埚(5)上,加热体承载环(8)设置在保温层(9)的敞口端上,每个环形加热体(4)的电极引出端绝缘穿过加热体承载环(8)与相对应的引出电极(7)连接,底部加热体(3)的电极引出端绝缘穿过加热体承载环(8)与相对应的引出电极(7)连接,引出电极(7)设置在加热体承载环(8)上,引出电极(7)的两端均设在外壳(1)的外部。
2.根据权利要求1所述多温区蓝宝石单晶生长炉,其特征在于所述隔热屏(2)由一组钨板和一组钼板构成,钨板和钼板间隔设置,钨板和钼板之间的距离为5-7mm,钨板和钼板二者的总数量为15-20块。
3.根据权利要求1或2所述多温区蓝宝石单晶生长炉,其特征在于热应力缓冲棒(10)为金属钨热应力缓冲棒。
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