[实用新型]一种储存和循环回收氯硅烷的装置

权利要求书

1.一种储存和循环回收氯硅烷的装置，包括氯硅烷储罐（1）、冷凝器（4），冷凝器（4）上设置有冷却循环水进水管（5）、冷却循环水出水管（6）和氯硅烷冷凝液管（7）、不凝尾气出口（15），氯硅烷储罐（1）与冷凝器（4）之间设置有氯硅烷气体管道（2）和氯硅烷冷凝液回流管（11），其特征在于：

氯硅烷气体管道（2）上还设置有气动开关阀（3），所述氯硅烷冷凝液管（7）与氯硅烷冷凝液回流管（11）之间还设有缓冲罐（8）、气动调节阀（10），所述氯硅烷冷凝液管（7）伸入到缓冲罐（8）罐内，所述缓冲罐（8）、气动调节阀（10）、氯硅烷冷凝液回流管（11）依次管道连接，氯硅烷冷凝管（7）的末端或缓冲罐（8）内壁设置有信号收集器（13），

储存和循环回收氯硅烷的装置中还设有控制器（14），所述信号收集器（13）通过控制器（14）与气动开关阀（3）及气动调节阀（10）信号连接。

2.根据权利要求1所述的储存和循环回收氯硅烷的装置，其特征在于：所述冷凝液管（7）的末端伸入到缓冲罐（8）的底部。

3.根据权利要求1所述的储存和循环回收氯硅烷的装置，其特征在于：所述缓冲罐（8）为直径为100-1000mm的小直径储罐。

4.根据权利要求3所述的储存和循环回收氯硅烷的装置，其特征在于：所述缓冲罐（8）为直径为200-400mm的小直径储罐。

5.根据权利要求1所述的储存和循环回收氯硅烷的装置，其特征在于：所述缓冲罐（8）的顶部与冷凝器（4）气相入口之间还设置有回气管（12）。

6.根据权利要求1所述的储存和循环回收氯硅烷的装置，其特征在于：所述缓冲罐（8）与气动调节阀（10）之间还经管道连接有过滤器（9）。

7.根据权利要求1所述的储存和循环回收氯硅烷的装置，其特征在于：所述信号收集器（13）为温度测量仪或pH值测量仪。