[实用新型]一种纳米微位移测量传感器有效
| 申请号： | 201120039304.0 | 申请日： | 2011-02-16 |
| 公开（公告）号： | CN202048884U | 公开（公告）日： | 2011-11-23 |
| 发明（设计）人： | 吴书贵;吴含宇;唐宇;吴国强;王东彬 | 申请（专利权）人： | 吴书贵;吴含宇;唐宇;吴国强;王东彬 |
| 主分类号： | G01B7/02 | 分类号： | G01B7/02;G01B7/16 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 位移 测量 传感器 | ||
【权利要求书】：
1.一种纳米微位移测量传感器，其特征是：由纳米微位移发生装置、微位移测量装置和导轨支撑装置组成，
纳米微位移发生装置由步进电机驱动系统(2)、与步进电机驱动系统(2)连在一起的步进电机驱动系统固定滑块(3)、与步进电机驱动系统(2)连在一起的精密丝杠(5)，以及和精密丝杠(5)相配合的带内丝滑块(6)组成；
微位移测量装置为差动电容位移传感器，由电容位移传感器动极板支体(7)、电容位移传感器定极板支体A(8)、电容位移传感器定极板支体B(10)、压簧(12)和分别固定在支体上的电容位移传感器4块环形极板(9)组成；
导轨支撑装置由带有方形凹槽的导轨支撑装置基体(1)、导轨支撑装置盖板C(4)和导轨支撑装置盖板D(11)组成。
2.如权利要求1所述的一种纳米微位移测量传感器，其特征是在所述的差动电容位移传感器的动极板支体(7)和定极板支体B(10)中间放入一压簧(12)。
3.如权利要求1所述的一种纳米微位移测量传感器，其特征是所述的步进电机驱动系统(2)为高减速比的步进电机驱动系统。
4.如权利要求1所述的一种纳米微位移测量传感器，其特征是所述的纳米微位移发生装置、微位移测量装置沿导轨支撑装置基体(1)无间隙直线布设。
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