[实用新型]一种双开拉板式散热的感应熔炼多晶硅铸锭炉有效
申请号: | 201120030878.1 | 申请日: | 2011-01-29 |
公开(公告)号: | CN201962406U | 公开(公告)日: | 2011-09-07 |
发明(设计)人: | 谭毅;战丽姝;顾正 | 申请(专利权)人: | 大连隆田科技有限公司 |
主分类号: | C30B11/00 | 分类号: | C30B11/00;C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 大连星海专利事务所 21208 | 代理人: | 于忠晶 |
地址: | 116025 辽宁省大连*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 双开 板式 散热 感应 熔炼 多晶 铸锭 | ||
技术领域
本实用新型属于用物理冶金技术提纯多晶硅的技术领域,特别涉及一种感应熔炼多晶硅铸锭炉。
背景技术
高纯多晶硅是制备太阳能电池的主要原料。目前多晶硅感应熔炼炉是冶金法提纯多晶硅的重要设备,该设备可以使多晶硅原料从块状或粉状熔化冷却后形成铸锭,铸锭经过切方和切片就可以制作太阳能电池片。
以前的定向凝固设备的设计中,定向凝固冷源都是使用一层隔热板隔热,铸锭的散热能力不可控制。只要隔热板一打开,整个底部都在散热,能量消耗较大。
发明内容
本实用新型的目的是克服上述不足问题,提供一种双开拉板式散热的感应熔炼多晶硅铸锭炉,对传统底部散热的装置进行了改进,设计使用双开拉板的散热方式,改善感应熔炼中的热场分布,增加了能量的利用率,降低了成本。
本实用新型为实现上述目的所采用的技术方案是:一种双开拉板式散热的感应熔炼多晶硅铸锭炉,感应线圈的内部安装上保温套筒,上保温套筒的上面安装保温套盖,保温套盖通过保温盖连杆连接到炉盖上,保温套筒的里面安装石墨套筒,保温套筒和石墨套筒共同固定在支架上,炉底部分水冷铜托盘通过底座支架连接在炉底盖上,石墨支架直接支撑在水冷铜托盘上,石墨支架上支撑安装石墨托盘,石墨托盘上面是石墨坩埚,石墨坩埚里套装石英坩埚,水冷铜托盘与石墨托盘之间有下保温套筒,下保温套筒上安装有上隔热板和下隔热板,隔热板采用块可分别四个方向拉动的隔热板。
所述石墨套筒的上面安装料斗支架,料斗支架的上面安装石墨料斗,料斗支架和石墨料斗共同围成一个加料的空间,石墨料斗的开口处安装石墨盘,石墨盘由石墨杆连接到顶部螺杆,顶部螺杆由顶部变速箱、伺服电机共同控制升降。
所述下可移动的散热挡板和上散热挡板分别连接一套动力系统,动力系统由连接件、连接杆和气动阀组成。
所述水冷盘入水口、水冷盘出水口是水冷铜托盘冷却水口。
所述感应线圈是水冷冷却的低压高电流高频感应线圈通过导线连到炉体外壁。
本实用新型使用了传统底部散热方式进行,对底部散热的装置进行了改进,设计使用双开拉板的散热方式,即定向凝固中的隔热板设计成4块隔热板,四块隔热板可分别向四个方向拉动,在机构的牵引下可以调整散热孔的大小,还可以控制冷源面积的大小,调整散热量,精确控制能量转移,控制铸锭内的温度梯度,有利于节约能源,改善感应熔炼中的热场分布,增加能量的利用率,降低成本。
附图说明
图1是本实用新型的正视图。
图2是本实用新型的俯视图。
图中:1.顶部螺杆,2.顶部变速箱,3.伺服电机,4.石墨杆,5.保温盖连杆,6.炉盖,7.保温套盖,8.石墨盘,9.上保温套筒,10.石墨料斗,11.料斗支架,12.感应线圈,13.石墨坩埚壁,14.石英坩埚,15.炉体,16.石墨坩埚底,17.支架,18.下保温套筒,19.石墨支架,20.下隔热板,21.炉底盖,22.底座支架,23.水冷铜托盘,24.水冷盘入水口,25.水冷盘出水口,26.上隔热板,27连接件,28.连接杆,29.气动阀,30.石墨托盘,31.石墨套筒,32.放气阀,33.罗兹泵,34.机械泵。
具体实施方式
下面结合附图详细说明本实用新型,但本实用新型并不局限于具体实施例。
实施例
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