[实用新型]带过滤屏的阴极弧离子镀装置

权利要求书

1.一种带过滤屏的阴极弧离子镀装置，包括真空室（1）、电源与控制装置（2）和供气设备（3），真空室上连有抽真空设备（4）和循环水冷却设备（5），真空室内设有旋转工件支架（6），其特征在于：所述真空室侧壁上均布有多个前端与真空室连通的阴极弧源（7）， 阴极弧源分别与电源与控制装置和供气设备连接，阴极弧源的前端口上设有网状过滤屏（8）。

2.根据权利要求1所述的带过滤屏的阴极弧离子镀装置，其特征在于：网状过滤屏的尺寸与阴极弧源前端口的尺寸相配。

3.根据权利要求1或2所述的带过滤屏的阴极弧离子镀装置，其特征在于：阴极弧源包括阴极靶（9）、聚焦磁线圈（10）、机械引弧装置（11）、环形供气管路（12）和磁过滤线圈（13），阴极靶位于阴极弧源后端，聚焦磁线圈环绕阴极靶，机械引弧装置位于阴极靶下侧，环形供气管路位于阴极靶前侧，磁过滤线圈位于阴极弧源的前部，阴极靶、聚焦磁线圈、机械引弧装置和磁过滤线圈分别连接电源与控制装置，环形供气管路与供气设备相连。

4.根据权利要求3所述的带过滤屏的阴极弧离子镀装置，其特征在于：阴极弧源呈圆筒状，阴极靶发射等离子体的轴心线、聚焦磁线圈的磁感应轴线、磁过滤线圈的磁感应轴线和阴极弧源的轴线重合。

5.根据权利要求1或2所述的带过滤屏的阴极弧离子镀装置，其特征在于：真空室内还设置有辅助加热装置，所述的辅助加热装置由电热丝构成，电热丝呈螺旋状，电热丝均布于真空室的内壁上。

6.根据权利要求1或2所述的带过滤屏的阴极弧离子镀装置，其特征在于：所述的供气设备由气体瓶、不锈钢管路和节流阀组成。

7.根据权利要求1或2所述的带过滤屏的阴极弧离子镀装置，其特征在于：所述电源与控制装置的电源有两种，包括用于给阴极弧源供电的弧电源和用于给旋转工件支架供电的偏压电源。