[实用新型]芯片快速定位工具

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种芯片失效分析工具，具体涉及一种芯片快速定位工具。

背景技术

EF130芯片是采用0.13微米嵌入式闪存工艺所生产的芯片，其主要类型分为MN09、MN06、MN04三个系列，而各系列芯片的尺寸都有相应的规格。

对于EF130芯片的失效分析，需要根据EFA(电学失效分析)所得的数据结果分析失效模式，在Wafer(晶片)上选择相对应的失效芯片，并对该选择芯片进行PFA(物理失效分析)处理，物理分析得出失效原因。

在上述通过EFA所得的数据选择失效芯片的过程中，由于MOSAID(一种现有的电学失效分析仪器)无法精确定位所需的选择芯片，因此需要使用显微镜人工定位选择芯片。由于测试后的芯片会在PAD(衬垫)上留下3个针痕，测试人员可以根据测试针痕来进行芯片的选择。具体方法是：

1、测试人员根据背景信息，随机选择一块区域使用MOSAID进行测试，得到芯片的Bitmap(位图)；

2、产品工程师进行数据分析，通过Bitmap来选择需要做PFA的芯片；

3、产品工程师根据针痕，使用显微镜找到测试过的芯片区域；

4、工程师根据Wafer map(晶片图)中所需选择芯片的位置，使用显微镜进行人工选择。

这种人工定位芯片的方法存在以下缺点：

1、无法将测试数据与物理位置有效地结合起来，需要根据针痕来判断测试区域，EFA数据与物理地址有时会产生误差，即Wafer map中数据与物理地址无法一一对应，因此需要工程师来判断测试区域的真实位置，会产生误差；

2、EF130芯片的尺寸较小，会产生较大的人工误差；

3、一旦出现选择芯片错误的现象，很有可能就会造成一个产品失效分析的失败，无法快速有效地进行工艺改进，进而影响良率的提升。因此需要大量时间来反复确认所需的芯片位置，核实所选芯片是否正确，造成工作效率的低下。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种芯片快速定位工具，它可以

为解决上述技术问题，本实用新型芯片快速定位工具的技术解决方案为：

包括两个直角标尺，每个直角标尺设有相互垂直的水平标尺和垂直标尺，水平标尺和垂直标尺上分别标有刻度；两个直角标尺的原点位置设有选择孔；两个直角标尺通过两个选择旋钮实现活动连接；水平标尺和垂直标尺上分别设有轨道，选择旋钮能够在轨道内自由滑动；两个直角标尺的背面分别设有吸盘。

所述直角标尺上的刻度间隔为芯片的尺寸。

所述直角标尺上标注有对应于多种系列芯片的刻度。

本实用新型可以达到的技术效果是：

本实用新型利用MOSAID测试出已知芯片和所需芯片的坐标，进而计算出两者的相对位置，然后通过工具将两者的相对位置在工具上标注出来，即可以简便的找到想要选择的芯片。

本实用新型在已知一枚芯片的坐标情况下，通过所需芯片与已知芯片之间的相对位置来定位，能够在不使用显微镜等其他仪器的条件下，精确定位所需芯片，从而大大降低人为因素造成的误差并提高工作效率，实现快速定位所需检测的芯片的功能。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明：

图1是本实用新型芯片快速定位工具的示意图；

图2是图1的仰视图；

图3是本实用新型的使用状态示意图。

图中附图标记说明：

1为直角标尺，  11为选择孔，

12为轨道，     2为选择旋钮，

3为吸盘。

具体实施方式

如图1所示，本实用新型芯片快速定位工具，包括两个直角标尺1，每个直角标尺1设有相互垂直的水平标尺和垂直标尺，水平标尺和垂直标尺上分别标有刻度；两个直角标尺1的原点位置设有选择孔11；

两个直角标尺1通过两个选择旋钮2实现活动连接；如图1所示，第一直角标尺的水平标尺通过选择旋钮2与第二直角标尺的垂直标尺活动连接，第一直角标尺的垂直标尺通过选择旋钮2与第二直角标尺的水平标尺活动连接；

水平标尺和垂直标尺上分别设有轨道12，选择旋钮2能够在轨道12内自由滑动，使两个直角标尺1之间的相对物理位置发生变化；

直角标尺1上的刻度间隔为EF130芯片的尺寸；直角标尺1上可标注对应于多种系列芯片的刻度，用于选择多种尺寸的芯片；

如图2所示，两个直角标尺1的背面设有四枚吸盘3，能够起到固定工具同时避免对晶圆造成物理损伤的作用。