[发明专利]力传感器

权利要求书

1.一种力传感器(10)，其包括：

包括第一侧和第二侧的基底(12)；

安装在所述基底(12)的所述第一侧上的感测模(20)，所述感测模(20)包括膜片(22)和定位在所述膜片(22)上的一个或多个感测元件；以及

被配置成把外力传递到所述感测模(20)的所述膜片(22)的传动装置组件，所述传动装置组件包括：

与所述膜片(22)相接触的通常球形构件；

按钮构件(44)；和

具有耦接到所述通常球形构件的第一端(42)和耦接到所述按钮构件(44)的第二端(43)的延伸部(41)；

其中所述感测模(20)被配置成输出指示施加到所述力传感器(10)的外力的电信号。

2.根据权利要求1所述的力传感器(10)，还包括用于将所述感测模(20)的前侧接合到所述基底(12)的所述第一侧的粘合剂(131)。

3.根据权利要求2所述的力传感器(10)，其中所述感测模(20)的所述前侧包括一个或多个接合焊盘(412)，所述一个或多个接合焊盘(412)电气连接到所述基底(12)上的一个或多个接合焊盘(412)而无需引线接合。

4.根据权利要求2所述的力传感器(10)，其中所述粘合剂(131)包括一种图案的导电粘合剂(416)和非导电粘合剂(414)。

5.根据权利要求1所述的力传感器(10)，其中所述基底(12)包括在所述基底(12)的所述第一侧和所述第二侧之间延伸的基底开口(26)，其中所述膜片(22)定位在所述基底开口(26)之上。

6.根据权利要求1所述的力传感器(10)，还包括安装在所述基底(12)的所述第一侧上与所述感测模(20)电连通的信号调节电路(127)，其中所述信号调节电路(127)被配置成接收来自所述感测模(20)的电输出信号并且对所述电输出信号进行调节以从所述力传感器(10)提供经调节的输出信号。

7.根据权利要求6所述的力传感器(10)，还包括：

定位在所述基底(12)所述的第一侧上的壳体构件，所述壳体构件环绕所述感测模(20)限定第一腔(240)，其中所述壳体构件包括定位在所述感测模(20)之上的开口(36)。

8.根据权利要求7所述的力传感器(10)，其中所述壳体构件限定所述第一腔(240)和第二腔(230)，其中所述感测模(20)处于所述第一腔(240)中而所述信号调节电路(127)处于所述第二腔(230)中。

9.一种制造力传感器(10)的方法，其包括：

将感测模(20)的前侧倒装式安装到基底(12)的第一侧，其中所述感测模(20)包括膜片(22)和一个或多个感测元件，其中所述感测元件邻近所述感测模(20)的前侧；和

提供与所述膜片(22)的后侧相接触的传动组件，其中所述传动组件被配置成把外力传递到所述膜片(22)，所述传动组件包括对象(40)、具有耦接到所述对象(40)的第一端(42)的销构件(41)以及耦接到所述销构件(41)的第二端(43)的按钮构件(44)，其中，所述对象(40)的外表面(48)的至少一部分具有与膜片(22)的后侧相接触的球形形状。

10.根据权利要求9所述的方法，还包括将壳体构件定位在所述基底(12)的所述第一侧上以环绕所述感测模(20)和所述球形构件形成第一腔(240)，其中所述销构件(41)被配置成延伸通过所述壳体构件中的开口(36)。