[发明专利]制造硫化镉层的方法有效

专利信息
申请号: 201110461918.2 申请日: 2011-11-22
公开(公告)号: CN102544213A 公开(公告)日: 2012-07-04
发明(设计)人: B·A·科列瓦尔;S·费尔德曼-皮博迪;R·D·戈斯曼 申请(专利权)人: 通用电气公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 李进;林森
地址: 美国*** 国省代码: 美国;US
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摘要:
搜索关键词: 制造 硫化 方法
【权利要求书】:

1.一种用于制造硫化镉层的方法,该方法包括步骤:

提供衬底;

在衬底上设置包含镉的层以形成含镉层;以及

硫化该含镉层以基本将镉转化为硫化镉以形成硫化镉层。

2.权利要求1的方法,其中,衬底包括设置在衬底表面上的透明导电层。

3.权利要求2的方法,其中,衬底进一步包括设置在透明导电层上的高电阻透明(HRT)层。

4.权利要求2的方法,其中,含镉层被沉积在透明导电层上。

5.权利要求1的方法,其中,衬底包括不透明层,所述不透明层包括选自铜、银、铟、镓、铝、锌、锡和硒的一种或多种元素。

6.权利要求5的方法,其中,含镉层被设置在不透明层上。

7.权利要求1的方法,其中硫化含镉层包括将含镉层暴露于含硫氛围。

8.权利要求7的方法,其中,含硫氛围包括选自硫化氢、二硫化碳、六氟化硫、二氯化硫、烷硫醇和硫醚的气体。

9.权利要求7的方法,其中,含镉层的硫化在从约100摄氏度至约1000摄氏度的温度范围内执行。

10.权利要求7的方法,其中,含镉层的硫化执行约2分钟至约5小时的时间段。

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