[发明专利]一种光谱分析仪和光谱分析方法

权利要求书

1.一种光谱分析仪，包括：

光源，所述光源发出测量光；

光采集单元，所述光采集单元将测量光耦合至分光单元；

分光单元，所述分光单元包括第一分光模块和第二分光模块，测量光经所述第一分光模块X方向分光后被所述第二分光模块进行相同方向的分光；

成像单元和探测单元，所述测量光经过所述第二分光模块分光后再被成像单元成像后被探测单元接收；

处理单元，所述处理单元处理探测单元接收到的信号，得到窄波段对应的谱图。

2.根据权利要求1所述的光谱分析仪，其特征在于：所述第一分光模块对测量光还进行Y方向的分光，X方向与Y方向不平行。

3.根据权利要求2所述的光谱分析仪，其特征在于：所述X方向和Y方向相互垂直。

4.根据权利要求2所述的光谱分析仪，其特征在于：所述第一分光模块包括第一棱镜和第一光栅，所述第一光栅对测量光进行X方向的分光。

5.根据权利要求4所述的光谱分析仪，其特征在于：所述第一光栅为中阶梯光栅。

6.根据权利要求1所述的光谱分析仪，其特征在于：所述第二分光模块为反射或透射的中阶梯光栅或平面光栅或凹面光栅。

7.根据权利要求1所述的光谱分析仪，其特征在于：

所述成像单元包括第一成像模块和第二成像模块，所述探测单元包括第一探测器和第二探测器；

测量光经所述第一分光模块分光后，一部分经第一成像模块成像后被第一探测器接收，一部分进一步被第二分光模块分光、再经第二成像模块成像后被第二探测器接收；所述处理单元处理第一探测器和第二探测器接收到的信号，分别得到宽波段和窄波段对应的谱图。

8.根据权利要求7所述的光谱分析仪，其特征在于：所述第二分光模块设置在第二成像模块上。

9.根据权利要求7所述的光谱分析仪，其特征在于：所述第一探测器与第二探测器为同一探测器。

10.一种光谱分析方法，包括以下步骤：

A、提供了权利要求1～9任一所述的光谱分析仪；

B、光源发出的测量光经所述第一分光模块分光后，进一步被所述第二分光模块分光，经成像单元成像后被探测单元接收，处理单元处理所述探测单元接收的信号，得到窄波段对应的谱图。