[发明专利]静电电容型触摸屏面板及其制造方法

说明书

本申请要求于2011年8月23日提交的韩国专利申请号10-2011-0083942的优先权，在此为了各种目的通过引用结合其全部内容，就好像在这里完全阐明一样。

技术领域

本发明涉及一种静电电容型触摸屏面板及其制造方法。

背景技术

近年来，诸如液晶显示器、电致发光显示器和等离子体显示面板之类的显示设备由于具有快速响应速度、低功耗和杰出的色彩再现率而引起广泛关注。显示设备已经用于各种电子产品，诸如电视、计算机的监视器、笔记本电脑、移动电话、电冰箱的显示单元、个人数字助理和自动取款机等。通常，显示设备与诸如键盘、鼠标和数字转换器之类的各种输入设备进行接口连接。然而，当使用诸如键盘、鼠标等独立的输入设备时，需要用户知道怎样使用独立的输入设备，并且由于独立的输入设备占据空间，所以使用显示设备是不方便的，难以增强产品的完整性。因此，对可以减少错误操作的便利和简单的输入设备的需求逐渐地增加。依照这种需求，提出一种用户可以通过用手指或笔直接与屏幕接触来输入信息的触摸屏面板。

因为触摸屏面板具有简单的配置而不出现或几乎不出现任何错误操作，可以在没有独立输入设备的情况下执行输入动作，并且具有用户可以通过在屏幕上显示的内容迅速且容易地进行操纵的便利性，所以触摸屏面板被应用于各种显示设备。

触摸屏面板依照触摸部分的检测方法被分类为电阻型、电容型、电磁型等。电阻型触摸屏面板在向形成在上板或下板上的金属电极施加DC电压的状态下通过基于电阻的电压梯度来确定触摸位置。当用户触摸在上板或下板上形成的导电膜时，电容型触摸屏面板利用导电膜形成等电位并且依照在上板或下板中产生的电容差异来感测触摸位置。电磁型触摸屏面板通过读取当电磁笔触摸导电膜时感生的LC值来检测触摸部分。

以下，将参照图1和2描述依照相关技术的静电电容型触摸屏面板。图1是示出依照相关技术的静电电容型触摸屏面板的平面图，并图2是沿着图1的触摸屏面板的线I-I’、线II-II’和线III-III’获取的剖面图。

参照图1和2，相关技术的静电电容型触摸屏面板包括电极形成部分A、布线线路部分B和焊盘部分C。

电极形成部分A形成在基板10上并且包括在第一方向(例如，X轴方向)上平行布置的多个第一电极序列Tx和被配置成在垂直于第一电极序列Tx的方向(例如，Y轴方向)上相交的多个第二电极序列Rx。第一电极序列Tx和第二电极序列Rx彼此交叉并通过绝缘层40保持电绝缘状态。第一电极序列Tx中的每个包括多个第一电极图案50，并且相邻的第一电极图案50通过连接图案30彼此连接。连接图案30连接到通过绝缘层40暴露的相邻第一电极图案50。第二电极序列Rx中的每个包括一体形成的多个第二电极图案52。

布线部分B在电极形成部分A的外部形成，并且包括分别连接到多个第一电极序列Tx的多个第一布线线路22以及分别连接到多个第二电极序列Rx的多个第二布线线路24。

焊盘部分C包括分别通过多个第一布线线路22连接到多个第一电极序列Tx的多个第一焊盘26以及分别通过多个第二布线线路24连接到多个第二电极22的多个第二焊盘28。

以下，将参照图3A到6B描述用于制造相关技术的静电电容型触摸屏面板的方法。图3A和3B是示出图1的触摸屏面板的第一掩模工艺的剖面图。图4A和4B是示出图1的触摸屏面板的第二掩模工艺的剖面图。图5A和5B是示出图1的触摸屏面板的第三掩模工艺的剖面图。图6A和6B是示出图1的触摸屏面板的第四掩模工艺的剖面图。

参照图3A和3B，通过诸如溅射方法之类的沉积工艺在包括电极形成部分A、布线线路部分B和焊盘部分C的整个基板10上沉积第一导电层。作为第一导电层，通常使用诸如铜之类的金属。在上面形成有第一导电层的整个基板10上涂覆光致抗蚀剂之后，通过使用第一掩模执行光刻工艺来在布线线路部分B和焊盘部分C中形成用于暴露第一导电层的第一光致抗蚀剂图案。在通过湿蚀刻去除由第一光致抗蚀剂图案暴露的第一导电层之后，在布线线路部分B上形成第一和第二布线线路的下层22a和24a，并且在焊盘部分C上形成第一和第二焊盘的下层26a和28a。