[发明专利]紫外多波长消色差扩束镜装置

权利要求书

1.一种紫外多波长消色差扩束镜装置，由置于激光光路(7)上的透镜组成，其特征在于：

所述透镜为依次串接的石英负透镜(1)、石英透镜(3)和氟化钙透镜(4)。

2.根据权利要求1所述的紫外多波长消色差扩束镜装置，其特征是石英负透镜(1)的前面曲率半径为-17.368～-15.368mm、后面曲率半径为-27.64～-25.64mm。

3.根据权利要求2所述的紫外多波长消色差扩束镜装置，其特征是石英透镜(3)的前面曲率半径为-943.4～-941.4mm、后面曲率半径为60～62mm。

4.根据权利要求3所述的紫外多波长消色差扩束镜装置，其特征是氟化钙透镜(4)的前面曲率半径为60～62mm、后面曲率半径为-95.84～-93.84mm。

5.根据权利要求4所述的紫外多波长消色差扩束镜装置，其特征是石英负透镜(1)与石英透镜(3)的间距为130～150mm，石英透镜(3)与氟化钙透镜(4)的间距为1.5～2.5mm。

6.根据权利要求1所述的紫外多波长消色差扩束镜装置，其特征是石英负透镜(1)、石英透镜(3)和氟化钙透镜(4)的表面均镀有透射波长为200～350nm的增透膜。

7.根据权利要求6所述的紫外多波长消色差扩束镜装置，其特征是石英透镜(3)与氟化钙透镜(4)之间置有聚氟乙烯定位环(9)。

8.根据权利要求7所述的紫外多波长消色差扩束镜装置，其特征是石英透镜(3)、聚氟乙烯定位环(9)和氟化钙透镜(4)位于恒温恒湿盒(5)中，所述恒温恒湿盒(5)的两端置有位于激光光路(7)上的入射窗口(2)和出射窗口(6)。

9.根据权利要求8所述的紫外多波长消色差扩束镜装置，其特征是入射窗口(2)和出射窗口(6)均为石英玻片。

10.根据权利要求9所述的紫外多波长消色差扩束镜装置，其特征是恒温恒湿盒(5)与导轨(8)动配合连接，所述导轨(8)的轨迹与激光光路(7)同向。