[发明专利]一种反应气体传输系统

权利要求书

1.一种反应气体传输系统，包括设于反应腔室腔盖上部的气体管路，气体管路输气端通过腔盖与反应腔室内的喷淋装置连通，其特征在于还包括设于反应腔室内部侧壁上的气体导入模块和设于腔盖下部的气体导出模块；反应腔室侧壁开有引入气体的通孔，与气体导入模块密闭连通；腔盖开有引出气体的通孔，气体导出模块和气体管路的引气端通过该通孔连通；当腔盖闭合时，气体导入模块和气体导出模块密闭连通。

2.根据权利要求1所述的反应气体传输系统，其特征在于所述设于反应腔室腔盖上部的气体管路为柔性气体管路。

3.根据权利要求1所述的反应气体传输系统，其特征在于所述反应气体通过硬性气体管路与反应腔室侧壁上的通孔连通。

4.根据权利要求1所述的反应气体传输系统，其特征在于所述气体导入模块通过其自带的弹性压合面与气体导出模块密闭连通。