[发明专利]太阳能电池刻蚀方法及其设备

权利要求书

1.一种太阳能电池刻蚀方法，其特征在于：首先电池片(1)扩散后进行整体湿法抛光，然后通过传输滚轮(2)将刻蚀液带到电池片(1)背面的扩散面及电池片(1)前进方向后端边缘，实现电池片(1)背面及一侧边缘的刻蚀，而后将电池片(1)依次进行三次旋转方向，在向前传输的过程中完成其他三个边缘的刻蚀。

2.根据权利要求1所述的太阳能电池刻蚀方法，其特征在于：所述的电池片(1)的旋转顺序是：首先电池片(1)被旋转180度，在继续向前传输过程中进行背面和已刻边对边的刻蚀，然后被旋转90度，在继续向前传输过程中进行背面和前一边的邻边的刻蚀，最后被旋转180度，在继续向前传输过程中进行背面和最后一边的刻蚀。

3.根据权利要求1所述的太阳能电池刻蚀方法，其特征在于：所述的电池片(1)湿法抛光液是浓度为10％的HF酸液。

4.根据权利要求1所述的太阳能电池刻蚀方法，其特征在于：所述的刻蚀液为HF和HNO₃混合液。

5.根据权利要求1所述的太阳能电池刻蚀设备，其特征在于：包括传输滚轮(2)和方向转动装置(4)，所述的传输滚轮(2)表面刻有对刻蚀液具有毛细作用的特细环形槽，传输滚轮(2)通过蘸液的方式将刻蚀液带到电池片(1)背面的扩散面及电池片(1)前进方向后端边缘，多个传输滚轮为一组，方向转动装置设置在相邻的两组传输滚轮之间。

6.根据权利要求5所述的太阳能电池刻蚀设备，其特征在于：所述的传输滚轮(2)有一半体积浸入在刻蚀液中。