[发明专利]基于掺Nd3+增益介质的腔内和频连续波紫外激光器

权利要求书

1.基于掺Nd³⁺增益介质的腔内和频连续波紫外激光器，其特征在于设有激光二极管泵浦源、光学准直聚焦系统、第1激光谐振腔镜、第2激光谐振腔镜、第3激光谐振腔镜、第4激光谐振腔镜、激光增益介质、二次谐波晶体和三次谐波晶体；所述激光二极管泵浦源、光学准直聚焦系统、第1激光谐振腔镜、激光增益介质和第2激光谐振腔镜从左至右依次设置在第一光轴上，所述第3激光谐振腔镜、三次谐波晶体、二次谐波晶体和第4激光谐振腔镜从左至右依次设置在第二光轴上；第2激光谐振腔镜、第3激光谐振腔镜、第4激光谐振腔镜与第1激光谐振腔镜构成激光器的谐振腔，所述谐振腔为Z型折叠谐振腔。

2.如权利要求1所述的基于掺Nd³⁺增益介质的腔内和频连续波紫外激光器，其特征在于所述激光二极管泵浦源为激光二极管，激光二极管阵列或光纤耦合输出的激光二极管阵列，泵浦光峰值输出波长为0.81μm或0.88μm。

3.如权利要求1所述的基于掺Nd³⁺增益介质的腔内和频连续波紫外激光器，其特征在于所述激光增益介质采用掺Nd³⁺的激光增益介质，所述掺Nd³⁺的激光增益介质选自Nd:YVO4、Nd:YAG、Nd:YLF、Nd:YAP、Nd:GdVO4中的一种，或采用把一块激光增益介质和一块或者两块纯的非掺杂同质基底材料通过键合技术实现稳固结合的键合晶体，所述激光增益介质中Nd³⁺的掺杂浓度范围为0.1％～10％，晶体横截面的尺寸为谐振腔中基波激光光斑直径的2～10倍。

4.如权利要求1所述的基于掺Nd³⁺增益介质的腔内和频连续波紫外激光器，其特征在于所述二次谐波晶体采用临界相位匹配，非临界相位匹配，双折射相位匹配，或周期极化材料的准相位匹配。

5.如权利要求1或4所述的基于掺Nd³⁺增益介质的腔内和频连续波紫外激光器，其特征在于所述二次谐波晶体的类型选自LBO，KTP，周期极化晶体PPLN、MgO:PPLN、PPSLT、PPLT、PPKTP中的一种。

6.如权利要求1所述的基于掺Nd³⁺增益介质的腔内和频连续波紫外激光器，其特征在于所述三次谐波晶体采用临界相位匹配，非临界相位匹配，双折射相位匹配，或周期极化材料的准相位匹配。

7.如权利要求1或6所述的基于掺Nd³⁺增益介质的腔内和频连续波紫外激光器，其特征在于所述三次谐波晶体的类型选自LBO、BIBO，BBO、CLBO、PPLN、MgO:PPLN、PPSLT、PPLT、PPKTP中的一种。

8.如权利要求1或6所述的基于掺Nd³⁺增益介质的腔内和频连续波紫外激光器，其特征在于所述三次谐波晶体的形状为长方体，所述三次谐波晶体的晶体端面与光轴垂直，或与光轴成布儒斯特角。

9.如权利要求1所述的基于掺Nd³⁺增益介质的腔内和频连续波紫外激光器，其特征在于所述二次谐波晶体和三次谐波晶体采用级联结构的周期极化晶体。

10.如权利要求9所述的基于掺Nd³⁺增益介质的腔内和频连续波紫外激光器，其特征在于所述级联结构的周期极化晶体选自PPLN、MgO:PPLN、PPSLT、PPLT、PPKTP中的一种。