[发明专利]喷淋清洗槽有效
申请号: | 201110457737.2 | 申请日: | 2011-12-31 |
公开(公告)号: | CN102513302A | 公开(公告)日: | 2012-06-27 |
发明(设计)人: | 王振荣;刘红兵;黄利松 | 申请(专利权)人: | 上海新阳半导体材料股份有限公司 |
主分类号: | B08B3/02 | 分类号: | B08B3/02;H01L21/67 |
代理公司: | 上海脱颖律师事务所 31259 | 代理人: | 李强 |
地址: | 201616 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 喷淋 清洗 | ||
技术领域
本发明涉及一种喷淋清洗槽。
背景技术
晶圆、引线框架及其它集成电路元件生产过程中,需要电镀、蚀刻等工艺处理。生产过程,清洗是必要的工作。清洗工作首先需要确保晶圆、引线框架或其它元件的每一个部位均能全面清洗。其次,还需要满足大规模生产需要,能够快速、高效且自动化清洗。但现有技术中的清洗设备还无法达到全面清洗的要求。而且清洗过程慢,效率低。
发明内容
本发明的目的是为了克服现有技术中的不足,提供一种可全面清洗待洗工件的喷淋清洗槽。
为实现以上目的,本发明通过以下技术方案实现:
喷淋清洗槽,包括槽体,所述槽体设置有容腔;其特征在于,还包括:第一支架,所述第一支架可移动地设置于容腔内;夹具,所述夹具用于夹持待洗工件,所述夹具可转动地设置于第一支架上;喷液管,所述喷液管设置有朝向夹具的喷液口。
优选地是,所述第一支架可上下往复移动地设置。
优选地是,还包括第一驱动装置;第一驱动装置通过第一传动装置与第一支架传动连接;所述第一驱动装置通过第一传动装置驱动第一支架上下往复运动。
优选地是,所述第一传动装置包括齿条及齿轮;齿条端部与第一支架连接;齿轮安装于第一驱动装置的输出轴上并受第一驱动装置驱动旋转;齿条与齿轮啮合。
优选地是,所述第一传动装置为丝杠螺母,丝杠螺母的丝杆与第一支架连接;第一驱动装置与丝杠螺母的螺母传传动连接,第一驱动装置驱动丝杠螺母的螺母旋转。
优选地是,所述的喷淋管可上下往复移动地设置于容腔内。
优选地是,喷淋管安装于第二支架上;还包括第二驱动装置,所述第二驱动装置与第二支架传动连接;所述第二驱动装置驱动第二支架上下往复运动。
优选地是,所述第二驱动装置为第二减速电机;第二减速电机通过第二传动装置与第二支架传动连接。
优选地是,减速电机具有输出轴,所述输出轴水平设置;减速电机输出轴上安装有转盘,所述转盘与第二支架通过连杆连接;所述连杆连接在转盘的非圆心位置;连杆与第二支架连接点位于连杆与转盘的连接点的上方。
优选地是,所述容腔内设置有在第二支架上下运动过程中导向的导向装置。
优选地是,所述导向装置为相互配合的滑块与导轨;所述滑块与第二支架 连接,所述导轨安装于容腔内。
优选地是,还包括第三驱动装置,所述第三驱动装置驱动夹具转动。
优选地是,所述第三驱动装置与夹具通过第三传动装置传动连接。
优选地是,所述第三传动装置包括同步带、传动链和齿轮中的一种或几种。
优选地是,所述夹具安装于转轴上,转轴可转动地安装于第一支架上。
优选地是,所述转轴两端分别安装有一个夹具;所述喷淋管数目为两个。
优选地是,所述第三驱动装置通过同步带驱动转轴转动。
优选地是,所述第三驱动装置通过同步带和齿轮驱动转轴转动;第一同步带轮安装于第三驱动装置的输出轴上;第二同步带轮与第一齿轮同轴安装;同步带套装在第一同步带轮和第二同步带轮上;转轴上安装有第二齿轮;第一齿轮与第二齿轮啮合、或者第一齿轮及第二齿轮同时与第三齿轮啮合。
优选地是,所述夹具包括基板、定位柱、定位块及弹性复位装置;所述定位柱设置于基板表面并突出于基板表面;所述定位块设置在基板边缘,且定位块设置有自基板边缘向基板中心延伸的挡片,所述定位块可远离基板边缘运动并可回复至扣合在基板边缘地设置;所述弹性复位装置在定位块远离基板边缘运动时产生弹性变形力,该弹性变形力具有使定位块回复至扣合在基板边缘的位置的趋势。
优选地是,所述定位块设置有凹槽;基板边缘沿厚度方向嵌入凹槽内,所述挡片为凹槽的槽壁。
优选地是,所述基板包括基板本体及设置在基板本体上的固定齿,所述的固定齿的数目为两个以上,两个以上的固定齿沿圆周方向排列;定位块至少设置在其中一个固定齿上。
优选地是,所述固定块沿套装在固定齿端部。
优选地是,所述定位块的凹槽沿长度方向的形状与固定齿沿圆周方向的形状相配合。
优选地是,所述定位块的凹槽的长度大于固定齿的厚度。
优选地是,所述的弹性复位装置为弹簧。
优选地是,所述弹性复位装置为压缩弹簧,所述基板上设置有螺钉,所述定位块设置有第一通孔,第一通孔内设置有台阶;螺钉穿过第一通孔与基板螺纹配合;所述压缩弹簧套装在螺钉上并被限制于螺钉端部与台阶之间。
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