[发明专利]单粒子瞬态电流脉冲检测系统

权利要求书

1.一种测量单粒子瞬态电流脉冲的系统，包括：

辐照装置，用于对器件的待测区域进行辐照；

示波器，用于捕获单粒子脉冲电流信号。

2.根据权利要求1所述的系统，还包括：

信号传输电路，由单粒子脉冲信号生成示波器触发信号和延迟的待测信号，

其中当示波器检测到示波器触发信号时，对延迟的待测信号进行测量和存储。

3.根据权利要求2所述的系统，其中当示波器检测到示波器触发信号时停止辐照。

4.根据权利要求1所述的系统，还包括用于放置器件的可移动的器件放置平台。

5.根据权利要求1所述的系统，其中所述辐照装置当达到一定的辐照剂量时停止辐照。

6.根据权利要求2所述的系统，其中所述信号传输电路对所述单粒子脉冲电流信号进行放大和防反射处理。

7.根据权利要求1所述的系统，其中使用GPIB通用总线接口连接示波器和计算机，由计算机读取示波器内存后测量所述单粒子脉冲电流信号的数据。

8.根据权利要求1中所述的系统，其中测量得到的单粒子脉冲信号特征数值包括总电荷、峰高以及上升时间中的一种或者它们的组合。