[发明专利]铟镓锌氧化物(IGZO)纳米粉体及其制备方法与应用

权利要求书

1.一种铟镓锌氧化物(IGZO)纳米粉体，包括：

一InGaZnO₄晶体结构以及一微量元素，其中该InGaZnO₄晶体结构如式(I)所示：

x(In₂O₃)-y(Ga₂O₃)-z(ZnO)    (I)

其中，x∶y∶z＝1∶1∶0.5-2，以及该微量元素包括硼和/或铝，含量介于约100-1000ppm。

2.如权利要求1所述的铟镓锌氧化物(IGZO)纳米粉体，其纯度大于约99％。

3.如权利要求1所述的铟镓锌氧化物(IGZO)纳米粉体，其为一单相的InGaZnO₄晶体结构。

4.如权利要求1所述的铟镓锌氧化物(IGZO)纳米粉体，其中不含ZnGa₂O₄尖晶石相。

5.如权利要求1所述的铟镓锌氧化物(IGZO)纳米粉体的平均粒径约小于100nm，径长比约等于1。

6.一种溅镀用靶材，由权利要求1至5中任一项所述的铟镓锌氧化物(IGZO)纳米粉体，经均压成形及烧结处理而得。

7.一种铟镓锌氧化物(IGZO)纳米粉体的制备方法，包括：

将一铟金属化合物、一镓金属化合物及一锌金属化合物溶于一溶剂中，其中该铟金属化合物、该镓金属化合物及该锌金属化合物中铟∶镓∶锌的摩尔比为2∶2∶1～1∶1∶1；

加入一微量元素及一沉淀剂以产生一沉淀物，其中该微量元素包括硼和/或铝，含量介于约100-1000ppm；以及

以700-1400℃烧结该沉淀物以形成一含铟镓锌氧化物纳米粉体。

8.如权利要求7所述的铟镓锌氧化物(IGZO)纳米粉体的制备方法，其中在烧结该沉淀物之前还包括清洗并分离该沉淀物。

9.如权利要求7所述的铟镓锌氧化物(IGZO)纳米粉体的制备方法，其中该铟金属化合物包括硝酸铟、硫酸铟、亚硫酸铟、磷酸铟、次磷酸铟，该镓金属化合物包括硝酸镓、硫酸镓、亚硫酸镓、磷酸镓、次磷酸镓，以及该锌金属化合物包括硝酸锌、硫酸锌、亚硫酸锌、磷酸锌、次磷酸锌、或上述的混合。

10.如权利要求7所述的铟镓锌氧化物(IGZO)纳米粉体的制备方法，其中该沉淀剂包括氨水、氢氧化钠、氢氧化钾或上述的组合。

11.如权利要求7所述的铟镓锌氧化物(IGZO)纳米粉体的制备方法，其中该高温烧结温度介于约800-1200℃。

12.如权利要求7所述的铟镓锌氧化物(IGZO)纳米粉体的制备方法，其中该含铟镓锌氧化物(IGZO)纳米粉体，其纯度大于约99％。

13.如权利要求7所述的铟镓锌氧化物(IGZO)纳米粉体的制备方法，其中该含铟镓锌氧化物(IGZO)纳米粉体为一单相的InGaZnO₄晶体结构。

14.如权利要求7所述的铟镓锌氧化物(IGZO)纳米粉体的制备方法，其中该含铟镓锌氧化物(IGZO)纳米粉体不含ZnGa₂O₄尖晶石相。

15.如权利要求7所述的铟镓锌氧化物(IGZO)纳米粉体的制备方法，其中该含铟镓锌氧化物(IGZO)纳米粉体的平均粒径约小于100nm，径长比约等于1。