[发明专利]拆装方便的单晶炉炉体

说明书

技术领域

本发明涉及一种拆装方便的单晶炉炉体，属于单晶硅的生产制造设备技术领域。

背景技术

单晶硅是具有完整的点阵结构的晶体，是一种良好的半导体材料，目前被广泛用于半导体器件以及太阳能电池的制造。现有的单晶硅制造设备为单晶炉，其主要包括炉底、下炉体、上炉体、上炉盖、隔离阀和副炉六大部分组成。

以往的上炉体和下炉体之间通过法兰连接，当需要将上炉体和下炉体拆开或装上时，要将螺丝一个个松开或拧紧后才能用提升机构将上炉体和下炉体拆开或装上。然而这样的拆装方式效率较低，拆卸或拧紧螺丝所用的时间较长，导致单晶炉炉体的拆装极不方便。

发明内容

本发明的目的在于克服上述不足，提供一种节省拆装时间，效率较高的拆装方便的单晶炉炉体。

本发明的目的是这样实现的：

本发明拆装方便的单晶炉炉体，包括上炉体和下炉体，所述上炉体下部的侧壁上设有若干凸块，所述下炉体上部的侧壁上设有若干箱扣，所述箱扣与凸块的数量相同，且每个箱扣均设于凸块的下方，所述箱扣与凸块相配合。

这种拆装方便的单晶炉炉体具有以下优点：

这种拆装方便的单晶炉炉体在上炉体的下部的侧壁上设置凸块，并在下炉体上部的侧壁上设置箱扣，当需要用提升机构拆装上炉体和下炉体时，只要将箱扣扣紧凸块或拉开便能轻松完成，使得上炉体和下炉体拆装方便，拆装效率较高。

附图说明

图1为本发明拆装方便的单晶炉炉体的结构示意图。

图2为图1中箱扣和凸块连接结构示意图。

图中：上炉体1、下炉体2、凸块3、箱扣4。

具体实施方式

参见图1和图2，本发明涉及的一种拆装方便的单晶炉炉体，包括上炉体1和下炉体2，所述上炉体1下部的侧壁上设有若干凸块3，所述下炉体2上部的侧壁上设有若干箱扣4，所述箱扣4与凸块3的数量相同，且每个箱扣4均设于凸块3的下方，所述箱扣4与凸块3相配合，当需要拆装上炉体1和下炉体2时，只要松开或扣上箱扣4便能方便地完成，提高了上炉体1和下炉体2的拆装效率。