[发明专利]用于晶圆的兆声清洗装置

权利要求书

1.一种用于晶圆的兆声清洗装置，其特征在于，包括：

机架，所述机架内限定有容纳腔；

支撑组件，所述支撑组件设在所述容纳腔内用于可旋转地支撑沿竖直方向定向的晶圆；

第一兆声喷头和第二兆声喷头，所述第一兆声喷头和所述第二兆声喷头在所述晶圆的轴向上间隔开地设在所述容纳腔内以分别用于清洗所述晶圆的两个表面；和

兆声喷头驱动件，所述兆声喷头驱动件设在所述机架上且与所述第一和第二兆声喷头相连以驱动所述第一兆声喷头和所述第二兆声喷头沿所述晶圆的径向平移。

2.根据权利要求1所述的用于晶圆的兆声清洗装置，其特征在于，所述第一兆声喷头和第二兆声喷头相对于水平方向的倾角分别可调。

3.根据权利要求2所述的用于晶圆的兆声清洗装置，其特征在于，还包括第一兆声喷头支架和第二兆声喷头支架，所述第一兆声喷头可枢转地设在所述第一兆声喷头支架上且所述第二兆声喷头可枢转地设在所述第二兆声喷头支架上。

4.根据权利要求3所述的用于晶圆的兆声清洗装置，其特征在于，还包括第一连接件和第二连接件，所述兆声喷头驱动件设在所述机架的外顶面上，所述第一兆声喷头支架通过所述第一连接件与所述兆声喷头驱动件相连，所述第二兆声喷头支架通过所述第二连接件与所述兆声喷头驱动件相连。

5.根据权利要求1所述的用于晶圆的兆声清洗装置，其特征在于，所述兆声喷头驱动件为直线电机、导轨丝杠和气缸中的一个且所述第一兆声喷头和第二兆声喷头正对设置。

6.根据权利要求1所述的用于晶圆的兆声清洗装置，其特征在于，所述支撑组件包括：

第一驱动轮和第二驱动轮，所述第一驱动轮和所述第二驱动轮分别设在所述容纳腔内；

电机，所述电机设在所述机架上用于驱动所述第一驱动轮和所述第二驱动轮旋转；

压轮，所述压轮设在所述容纳腔内，其中所述压轮与所述第一驱动轮和所述第二驱动轮协作支撑所述晶圆且将所述晶圆沿竖直方向定向；和

压轮驱动件，所述压轮驱动件设在所述机架上且与所述压轮相连以驱动所述压轮上下移动。

7.根据权利要求6所述的用于晶圆的兆声清洗装置，其特征在于，所述电机设在所述机架的外底面上，所述电机通过第一同步带驱动所述第一驱动轮旋转，所述第一驱动轮和所述第二驱动轮通过第二同步带相连。

8.根据权利要求7所述的用于晶圆的兆声清洗装置，其特征在于，还包括：

竖直隔板，所述竖直隔板设在所述容纳腔的底壁上；和

水平隔板，所述水平隔板设在所述竖直隔板上且所述水平隔板的前端与所述容纳腔的前壁相连，其中所述竖直隔板、所述水平隔板和所述容纳腔的壁之间限定出隔离腔，所述第一同步带的一部分和所述第二同步带设在所述隔离腔内。

9.根据权利要求6所述的用于晶圆的兆声清洗装置，其特征在于，所述压轮驱动件为气缸且设在所述机架的外顶面上，所述气缸的活塞杆的自由端与所述压轮可旋转地安装到其上的压轮支架相连。

10.根据权利要求1所述的用于晶圆的兆声清洗装置，其特征在于，所述容纳腔的左侧壁设有允许所述晶圆通过的左通孔、左门体和用于驱动所述左门体打开或关闭所述左通孔的左门体驱动件，所述容纳腔的右侧壁设有允许所述晶圆通过的右通孔、右门体和用于驱动所述右门体打开或关闭所述右通孔的右门体驱动件。