[发明专利]金属层热处理方法及制品无效
| 申请号： | 201110451477.8 | 申请日： | 2011-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN103184407A | 公开（公告）日： | 2013-07-03 |
| 发明（设计）人： | 蒋焕梧;陈正士;林顺茂 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C8/12 | 分类号： | C23C8/12 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 金属 热处理 方法 制品 | ||
1.一种金属层热处理方法，其包括如下步骤：
提供一基体，该基体表面形成有金属层，该金属层的材质为钛、锌、铝、锆、铜、银及稀土金属中的任一种；
对所述基体进行臭氧热处理，将所述金属层氧化为金属氧化物层，所述臭氧热处理的温度为180～220℃，所述金属氧化物层主要由钛、锌、铝、锆、铜、银及稀土金属中的任一种与氧形成的化合物构成。
2.如权利要求1所述的金属层热处理方法，其特征在于：所述臭氧热处理时，臭氧的流量为60sccm～100sccm，该热处理时间为60min～120min。
3.如权利要求1所述的金属层热处理方法，其特征在于：所述金属层的厚度为100nm-5μm。
4.如权利要求1所述的金属层热处理方法，其特征在于：所述金属层通过电镀或真空镀膜的方式形成。
5.如权利要求1所述的金属层热处理方法，其特征在于：所述金属氧化物层的厚度为105nm-5.05μm。
6.一种经由权利要求1-5中任一项金属层热处理方法制得的制品，包括基体及形成于基体上的金属氧化物层，其特征在于：所述金属氧化物层主要由钛、锌、铝、锆、铜、银及稀土金属中的任一种与氧形成的化合物构成；所述金属氧化物层通过对形成于基体上的金属层进行臭氧热处理而制得。
7.如权利要求6所述的制品，其特征在于：所述金属氧化物层的厚度为105nm-5.05μm。
8.如权利要求6所述的制品，其特征在于：当所述金属层主要由钛与氧形成的化合物构成时，Ti与O的原子比为1∶(1.98～2.06)。
9.如权利要求6所述的制品，其特征在于：当所述金属层主要由锌与氧形成的化合物构成时，Zn与O的原子比为1∶(1.01～1.16)。
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