[发明专利]一种光栅尺周期内精度的自动检测装置有效
| 申请号： | 201110449419.1 | 申请日： | 2011-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN102564307A | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 曾琪峰;吴宏圣;乔栋;孟辉;孙强;张立华 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 陶尊新 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 光栅尺 周期 精度 自动检测 装置 | ||
1.一种光栅尺周期内精度的自动检测装置，该装置包括数据采集模块(23)、速度计算模块(22)、数据存储模块(24)和数据分析模块(25)，其特征是，
所述数据采集模块(23)从读数头(11)中采集读数头(11)在主光栅(12)上位置值；
所述速度计算模块(22)根据数据采集模块(23)采集的读数头(11)在主光栅(12)上的位置值并计算当前的读数头(11)在主光栅(12)上的移位速度；
所述数据存储模块(24)根据速度计算模块(22)获得的读数头(11)的移位速度对数据采集模块(23)采集的读数头(11)在主光栅(12)上的位置值进行选择，
所述数据分析模块(25)通过数据存储模块(24)选择的读数头(11)在主光栅(12)上的位置值进行统计分析并获得分析结果。
2.根据权利要求1所述的一种光栅尺周期内精度的自动检测装置，其特征在于，所述数据存储模块(24)获得数据采集模块(23)得到的读数头(11)在主光栅(12)上的随机位移值，数据分析模块(25)通过读数头(11)在主光栅(12)上的随机位移值的数值分布计算光栅尺周期内细分精度的信息，并与标准的值进行对比，计算光栅尺周期内误差分布。
3.根据权利要求1所述的一种光栅尺周期内精度的自动检测装置，其特征在于，该装置还包括移位控制模块(21)，所述移位控制模块(21)用于控制读数头(11)的位置。
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