[发明专利]太阳能槽式曲面反光镜面形误差检测装置

权利要求书

1.太阳能槽式曲面反光镜面形误差检测装置，该装置包括光源装置、自校准装置和图像采集与处理装置；其特征是；

所述光源装置包括激光器(1)、扩束镜(2)和分束镜组(3)；图像采集与处理装置包括光屏(18)、相机(16)和计算机(21)；

所述激光器(1)发出的光束经扩束镜(2)扩束后再经分束镜组(3)分束并反射，经分束镜组(3)分束后的测试光束投射至被测曲面反光镜(13)上，经分束镜组(3)反射的自校准光束入射至自校准装置，所述自校准装置对投射至被测曲面反光镜(13)上的测试光束的平行度校准；所述光屏(18)接收被测曲面反光镜(13)反射的光斑信息，相机(16)采集光屏(18)上的光斑信息并将光斑信息传输至计算机(21)中，计算机(21)通过接收的光斑信息判断被测曲面反光镜(13)的面形误差。

2.根据权利要求1所述的太阳能槽式曲面反光镜面形误差检测装置，其特征在于，该装置还包括扫描与调节机构，所述扫描与调节机构包括滑动横梁(11)、导轨(12)、升降支杆(14)和挡板(15)，所述滑动横梁(11)用于安装光源装置和自校准装置，导轨(12)用于安装滑动横梁(11)，升降支杆(14)用于对被测曲面反光镜(13)的位置和姿态进行调整，挡板(15)用于固定被测曲面反光镜(13)的位置。

3.根据权利要求1或2所述的太阳能槽式曲面反光镜面形误差检测装置，其特征在于，所述自校准装置包括自校准装置包括f-θ透镜(9)和CCD探测器(10)；所述自校准光束经f-θ透镜(9)会聚于CCD探测器(10)上。

4.根据权利要求1或2所述的太阳能槽式曲面反光镜面形误差检测装置，其特征在于，所述激光器(1)、扩束镜(2)和分束镜组(3)依次固定在滑动横梁(11)上，所述分束镜组(3)由多个分束镜单元(6)组成，每个分束镜单元(6)由两片分束镜组(3)组成。

5.根据权利要求4所述的太阳能槽式曲面反光镜面形误差检测装置，其特征在于，所述两片分束镜分别为倾斜分束镜(4)和水平分束镜(5)，且倾斜分束镜(4)和水平分束镜(5)的夹角为45°。

6.根据权利要求4所述的太阳能槽式曲面反光镜面形误差检测装置，其特征在于，所述分束镜单元(6)的数量由被测曲面反光镜(13)的开口尺寸和测量精度决定。

7.根据权利要求4所述的太阳能槽式曲面反光镜面形误差检测装置，其特征在于，在每个分束镜单元(6)中设置快门(23)，在对被测曲面反光镜(13)进行面形误差检测时，光屏(18)上获得的被测曲面反光镜(13)的光斑信息偏离标准位置时，将快门(23)全部关闭，并从左至右依次打开快门(23)，获得偏离光斑所对应的被测点。

8.根据权利要求1所述的太阳能槽式曲面反光镜面形误差检测装置，其特征在于，所述图像采集与处理装置还包括三脚架(17)，所述相机(16)通过三脚架(17)支撑并进行位置和角度的调整。

9.根据权利要求1所述的太阳能槽式曲面反光镜面形误差检测装置，其特征在于，所述图像采集与处理装置中光屏(18)与被测曲面反光镜(13)的光轴角度范围在0～90°。