[发明专利]管形溅镀靶材检测机构

说明书

技术领域

本发明是关于一溅镀靶材检测机构，尤指一种专用于旋转式管形溅镀靶材的检测机构。

背景技术

在半导体元件等产品的制程中，为使基材表面形成一特定材料的膜层，经常藉由溅镀装置产生离子化的气体(电浆)冲击溅镀靶材，使溅镀靶材释放出特定的粒子附着于基材表面上而形成所期望的膜层。

为避免溅镀靶材中的缺陷影响溅镀制程的品质，所述溅镀靶材通常须预先利用溅镀靶材检测机构进行溅镀靶材内部缺陷检测、焊合缺陷检测等检测，从中筛选出不良的溅镀靶材。由于溅镀靶材包含有平面形靶材、圆管形靶材或异形靶材等多种形式，基于各形式靶材的形状差异，溅镀靶材检测机构各设计有专用的机构来进行检测的用途。

目前溅镀靶材非破坏性检测技术中，超声波检测机构是目前被广泛使用的一种。由于超声波检测机构必须使用水等作超声波的耦合液，于管形溅镀靶材进行超声波检测时，皆是将管形溅镀靶材放入水槽中浸水再进行超声波检测。

但是圆管形溅镀靶材经过此浸水式超声波检测后，该圆管形溅镀靶材因完全浸水必须再经过烘干的步骤，故因制程步骤多，而致管形溅镀靶材的检测作业费时费工。而且此浸水式的超声波检测机构因将溅镀靶材直接浸入水中，对于不能浸水的溅镀靶材即无法适用的问题。

此外，现有超声波检测机构设计中，已知有日本公开昭62-198755号的细管内超声波探伤装置，此细管内超声波探伤装置应用于加压水型原子炉的蒸气发生器传热细管的非破坏性检测用途，该细管内超声波探伤装置是以一由驱动机构带动的超声波检测器于蒸气发生器传热细管等细管内部移动及旋转，并于细管内部完全灌入水作为耦合液，使超声波检测器以超声波检测手段对细管管壁是否有裂痕进行检测。

前述细管内超声波探伤装置是为加压水型原子炉的蒸气发生器传热细管的非破坏性检测而设计，且该细管内超声波探伤装置是使用驱动机构带动的超声波检测器于细管内部移动及旋转，此装置构造复杂，并须于细管内部完全灌入水作为超声波检测的耦合液，不适用于管形溅镀靶材的检测作业。

发明内容

本发明解决的技术问题是提供一种，解决现有浸水式超声波检测机构须将管形溅镀靶材浸水进行检测，于检测后将管形溅镀靶材再予以烘干，无法适用于不能浸水的溅镀靶材的问题。

本发明的技术解决方案是：

提供一种管形溅镀靶材检测机构，其包含：

一载具，其包含一基座以及二具有开口端的防水套管，二所述防水套管是以其开口端相对的设置于基座上，用以相对夹持管形溅镀靶材的内衬管，二所述防水套管中的至少一防水套管设有一注液口与一排液口，所述注液口高于排液口，使耦合液能够经由所述注液口注入该管形溅镀靶材的内衬管内部的下段达预定液位高度，于超声波检测后，耦合液自所述排液口排出；

一靶材旋转驱动装置，设置于基座上，用以驱动被夹持定位于二所述防水套管之间的管形溅镀靶材旋转，所述靶材旋转驱动装置包含一支以上的驱动轴以及一带动所述驱动轴旋转的驱动组件，以所述驱动轴抵接管形溅镀靶材；

一检测车，其包含一车体、多个枢设于车体上的车轮以及一装设于车体底部的超声波检测器，所述检测车能够被驱动自所述防水套管内部与管形溅镀靶材的内衬管内部之间来回移动，所述超声波检测器并能伸入管形溅镀靶材的内衬管内部下段的耦合液中；以及

一检测车驱动装置，设于基座上，用以驱动所述检测车于防水套管内部与管形溅镀靶材内部之间移动。

所述管形溅镀靶材检测机构中，所述基座上设置一靶材托架，靶材托架用以支撑管形溅镀靶材。

所述管形溅镀靶材检测机构中，二所述防水套管中的一防水套管定点组设于基座的靶材定位区，余一防水套管结合一套管驱动组件可活动的组设于基座上。

所述管形溅镀靶材检测机构中，所述靶材旋转驱动装置具有二驱动轴，该二驱动轴平行枢设于基座上，用以提供管形溅镀靶材抵靠其上而能带动管形溅镀靶材旋转。

所述管形溅镀靶材检测机构中，所述检测车驱动装置包含一驱动组、一移动构件以及一磁吸组件，所述驱动组设于基座上，驱动组包含有一动作部，移动构件设于动作部上，磁吸组件包含一磁吸构件以及一可被磁吸的被磁吸构件，磁吸构件与被磁吸构件分别组设于移动构件与检测车底部，使移动构件与检测车之间藉由磁力牵引作用而能连动。