[发明专利]垂直磁记录介质中的合金靶材及其制备方法无效
| 申请号： | 201110440207.7 | 申请日： | 2011-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN102517497A | 公开（公告）日： | 2012-06-27 |
| 发明（设计）人： | 钟小亮;王树森;王广欣 | 申请（专利权）人： | 江阴品源新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C22C38/14 | 分类号： | C22C38/14;C22C38/12;C22C30/00;C22C33/04;C22C1/02;C21D8/00;C23C14/34;C23C14/14;G11B5/851 |
| 代理公司： | 江阴市同盛专利事务所 32210 | 代理人： | 唐纫兰;曾丹 |
| 地址： | 214434 江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 垂直 记录 介质 中的 合金 及其 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种垂直磁记录介质中的合金靶材，其特征在于所述合金靶材具体是一种Tb-Fe-Co基合金靶材，其原子比的组成式为（CoX-Fe100-X）100-（Y+Z）-TbY-MZ，其中，5≤X≤20，15≤Y≤40，2≤Z≤15，所述组成式中的M元素为从Ta、Nb、Zr中选出的一种或两种元素，其中：Fe的原子比为40%~70%，Co的原子比为5%~30%，Tb的原子比为20%~40%， Ta、Nb、Zr中一种或两种的原子比为2%~15%。
2.一种制备权利要求1所述的合金靶材的方法，其特征在于所述方法包括以下步骤：
（1）按所设计的Tb-Fe-Co基合金靶材的元素含量计算所需的Tb、Fe、Co、三种或三种以上元素的重量，要求所有原料的纯度均高于99.9%；
（2）将（1）步所取的原料放入真空熔炼炉中，熔炼并浇铸成锭，熔炼温度为1400~1600℃，熔炼前先将真空度抽至6.67×10-3Pa，然后通入Ar保护气体，熔炼时的真空度为1.0×10-1Pa；
（3）将（2）步所得熔炼合金锭进行一次低温热轧变形处理和两次高温热轧变形处理，低温热轧温度为300~500℃，高温热轧温度在700~1150℃，要求轧制时道次变形率小于30%；
（4）将（3）步所得的锭进行机加工制得所需形状的靶材。
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