[发明专利]太阳能电池电极印刷掩模版及其制造方法

权利要求书

1.一种太阳能电池电极印刷掩模版，其特征在于，包括多层结构，至少由第一层和第二层电铸层构成，所述电铸层上设置有主栅线和细栅线。

2.根据权利要求1所述的太阳能电池电极印刷掩模版，其特征在于，第一层电铸层的主栅线和细栅线通过桥连连接。

3.根据权利要求2所述的太阳能电池电极印刷掩模版，其特征在于，在第一层电铸层的主栅线桥连连接网上设置有导电银浆无法透过的阵列点。

4.根据权利要求3所述的太阳能电池电极印刷掩模版，其特征在于，所述列阵点的图形形状为圆形、菱形、矩形、方形、三角形或多边形。

5.根据权利要求1所述的太阳能电池电极印刷掩模版，其特征在于，第二层电铸层的主栅线和细栅线无桥连连接。

6.根据权利要求5所述的太阳能电池电极印刷掩模版，其特征在于，还包括第三层电铸层，第三层电铸层的主栅线和细栅线无桥连连接。

7.根据权利要求6所述的太阳能电池电极印刷掩模版，其特征在于，还包括第四层电铸层，第四层电铸层的主栅线和细栅线无桥连连接。

8.根据权利要求1-7任一项所述的太阳能电池电极印刷掩模版，其特征在于，所述的细栅线的宽度小于70微米。

9.根据权利要求1-7任一项所述的太阳能电池电极印刷掩模版，其特征在于，所述掩模版为镍金属掩模版、镍基金属掩模版或者其它金属掩模版。

10.根据权利要求1-7任一项所述的太阳能电池电极印刷掩模版，其特征在于，在所述的掩模版四周边缘设有按一定规律排布边孔。

11.根据权利要求1-7任一项所述的太阳能电池电极印刷掩模版，其特征在于，所述的掩模版直接固定在网框上。

12.根据权利要求1-7任一项所述的太阳能电池电极印刷掩模版，其特征在于，所述的掩模版通过丝网绷紧后固定在网框上。

13.一种太阳能电池电极印刷掩模版的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：

第一步：芯膜前处理；

第二步：第一层电铸层成型；

第三步：第二层电铸层成型；

第四步：第二层以上电铸层成型；

第五步：退膜；

第六步：固定。

14.根据权利要求13所述的一种太阳能电池电极印刷掩模版的制作方法，其特征在于，所述第一步工艺：将芯模进行前处理，使芯膜表面洁净平整；所述第二步工艺：在一块光面的芯模上面均匀涂布一层感光膜，通过曝光机将太阳能电池的电极掩模版第一层图形转移到感光干膜上面，曝光后进行显影清洗烘干等一系列工序，将未曝光处干膜清洗溶解掉，留下太阳能电池的电极掩模版图形，将制作好图形的芯模放到电铸溶液中进行电沉积成型，达到预期厚度时从电铸溶液中取出有一层电铸层的芯模；所述第三步工艺：取出有电铸层的芯模经前处理喷砂、清洗等工序，在有电铸层的芯模铸层表面均匀涂布一层感光膜，再次用曝光机将太阳能电池的电极掩模版第二层的图形转移到感光干膜上面，重复电铸过程，电铸层达到预期厚度时，取出芯膜；所述第四步工艺：如需进行两层以上电铸层，重复第三步，其中每次曝光图形随电铸层的需要作一定的改变，每层电铸层的厚度也根据相关工艺参数作调整；所述第五步工艺：利用超声水洗以及其它相关工艺进行褪膜处理，并将退膜完毕的多层电铸掩模版从芯膜表面剥离；所述第六步工艺：将剥离下来的掩模版通过焊接或者胶水等方法直接固定在网框上，也可以是通过丝网绷紧后用焊接或胶水等方法固定在网框上，所述网框为金属框或非金属框，所述金属框为铝框或锈钢框，所述丝网为金属丝网或聚酯丝网。