[发明专利]反射镜双程放大软X射线激光出光靶装置及调节方法

权利要求书

1.一种反射镜双程放大软X射线激光出光靶装置，包括一个长方形的靶架固定底板(118)，在该靶架固定底板(118)上的一端横向地固设有多层膜反射镜架(112)，该多层膜反射镜架设置多层膜反射镜(106)，在所述的靶架固定底板(118)上自另一端至所述的多层膜反射镜架(112)，依次的第一出光靶(101)和第二出光靶(102)纵向成列、第三出光靶(103)和第四出光靶(104)纵向成列并通过各自的靶架和靶座纵向地列放在所述的靶架固定底板(118)上的两条平行的直线上，所述的第一出光靶(101)和第二出光靶(102)的靶面与所述的第三出光靶(103)和第四出光靶(104)的靶面相向并处于同一高度，所述的靶架固定底板(118)通过燕尾形连杆(119)固定在调节平台(120)上，其特征是：在所述的第四出光靶(104)和所述的多层膜反射镜架(112)之间还设有辅助靶(105)，该辅助靶(105)通过辅助靶架(111)和辅助靶座(117)设置在所述的靶架固定底板(118)上，所述的辅助靶(105)的主轴与所述的第一出光靶(101)、第二出光靶(102)、第三出光靶(103)和第四出光靶(104)的主轴所在的平面夹角(304)为45°～90°，所述辅助靶(105)的上端高于所述的多层膜反射镜支架(112)的上边缘。

2.根据权利要求1所述的出光靶装置，其特征在于所述的多层膜反射镜(106)是在透明的玻璃基板上镀Mo/Si多层膜构成的，对反射镜双程放大软X射线激光反射，该多层膜反射镜(106)的多层膜的正面和背面都具有反射光的作用，且正面和背面的表面互相平行。

3.权利要求1所述的出光靶装置的调节方法，其特征在于该方法包括下列步骤：

一、离线调节：

①在所述的靶架固定底板(118)上建立直角坐标系，该靶架固定底板(118)位于yz平面，该靶架固定底板(118)的左上角顶点为坐标原点，该靶架固定底板(118)的宽边为y轴方向，长边为z轴方向，垂直方向为x轴方向，在所述的第一出光靶(101)和第二出光靶(102)的靶面的正面垂直方向，即该靶架固定底板(118)的一边沿y方向设置第一平行光管(201)，在所述的第三出光靶(103)和第四出光靶(104)的靶面的正面垂直方向，即所述的靶架固定底板(118)的另一边沿-y方向设置第二平行光管(202)，在所述的靶架固定底板(118)的一端沿z方向设置第三平行光管(203)；在所述的靶架固定底板(118)的上方设置显微镜(301)；

②分别调节所述的第二出光靶(102)和第三出光靶(103)的靶托(108)和(109)以及靶平移座(114)和(115)，使第一平行光管(201)和第二平行光管(202)的光轴分别垂直于所述的第一出光靶(101)和第三出光靶(103)的靶面，进而使所述的第二出光靶(102)和第三出光靶(103)的靶面处于同一垂直于所述的靶架固定底板(118)的平面，调节所述的显微镜(301)，使所述的显微镜(301)目镜的十字刻线的竖线对准第二出光靶(102)与第三出光靶(103)邻近的端点，沿-z方向平移所述的显微镜(301)设计要求的距离z₂₃，调节所述的第三出光靶(103)的靶托(109)，使所述的第三出光靶(103)与第二出光靶(102)邻近的端点对准显微镜(301)目镜的十字刻线竖线，通过第二平行光管(202)监测并保持所述的第三出光靶(103)的靶面与第二平行光管(202)的光轴垂直，锁定所述的第二出光靶(102)；

③同样的方法利用所述的显微镜(301)目镜的十字刻线横线沿y轴方向调节所述的第三出光靶(103)，使第三出光靶(103)的靶面与第二出光靶(102)的靶面的间距达到设计的靶面间距y₂₃，锁定第三出光靶(103)；

④调节所述的第一出光靶(101)的靶托(107)以及靶平移座(113)，使第一平行光管(201)的光轴垂直于所述的第一出光靶(101)的靶面，使所述的第一出光靶(101)的靶面处于垂直于所述的靶架固定底板(118)的平面，调节所述的显微镜(301)使所述的显微镜(301)目镜的十字刻线横线与第二出光靶(102)的靶面重合，调节所述的第一出光靶(101)的靶托(107)以及靶平移座(113)，使所述的第一出光靶(101)的靶面与所述的显微镜(301)目镜的十字刻线横线重合；

⑤按照步骤②的方法调节所述的第一出光靶(101)和第二出光靶(102)的两邻近靶端之间距达到设计的靶端间距为z₁₂，锁定第一出光靶(101)；

⑥调节所述的第四出光靶(104)的靶托(110)以及靶平移座(116)，使第二平行光管(202)的光轴垂直于所述的第四出光靶(104)的靶面，进而使所述的第四出光靶(104)的靶面处于垂直于所述的靶架固定底板(118)的平面，调节所述的显微镜(301)，使所述的显微镜(301)目镜的十字刻线横线与第三出光靶(103)的靶面重合，调节所述的第四出光靶(104)的靶托(110)以及靶平移座(116)，使所述的第四出光靶(104)的靶面与所述的显微镜(301)目镜的十字刻线横线重合；

⑦按照步骤②的方法调节所述的第三出光靶(103)和第四出光靶(104)的两邻近靶端之间距达到设计的靶端间距为z₃₄，锁定第四出光靶(104)；

⑧利用第二平行光管(202)调节所述的辅助靶靶托(111)和辅助靶平移座(117)，使所述的辅助靶(105)的靶面与第二平行光管(202)的光轴垂直，使所述的辅助靶(105)的靶面与所述的第四出光靶(104)的靶面和第三出光靶(103)的靶面处于同一垂直于所述的靶架固定底板(118)的平面，利用第二平行光管(202)和显微镜(301)调节所述的辅助靶平移座(117)沿-y方向移动，使所述的辅助靶(105)的靶面相对于所述的第四出光靶(104)的靶面间距y₄₅为50～100μm，锁定所述的辅助靶(105)；

⑨利用所述的第三平行光管(203)调节所述的多层膜反射镜(106)的反射镜架(112)，使所述的多层膜反射镜(106)的多层膜背面与所述的第三平行光管(203)的光轴垂直，根据所述的第三平行光管(203)目镜上的十字刻线竖线与角度的对应关系，绕x轴逆时针方向转动所述的多层膜反射镜架(112)到设计的角度θ，进而使所述的多层膜反射镜(106)工作面与理论计算出的软X射线激光出光的方向垂直，完成出光靶装置的离线调节；

二、在线调节：

①把完成离线调节的出光靶装置的燕尾形连杆(119)与靶室内的电控马达的燕尾槽相连，出光靶装置呈倒悬姿态；

②在所述的靶室外，对应于出光靶装置的离线调节的第一平行光管(201)、第二平行光管(202)和第三平行光管(203)的位置设置第四平行光管(401)、第五平行光管(402)和第六平行光管(403)；

③通过靶室内的电控马达，调节所述的出光靶装置的姿态，使所述的辅助靶(105)的靶面与第六平行光管(403)视场中的十字刻线竖线重合，完成辅助靶(105)的贴面操作；

④调节靶室内的电控马达，使第一出光靶(101)的靶面与第四平行光管(401)的光轴垂直；

⑤通过电控马达使所述的出光靶装置沿-y方向平移，使所述的第六平行光管(403)中的十字刻线竖线与所述的第四出光靶(104)靶面重合，即完成出光靶装置的在线调节。