[发明专利]复合基板以及复合基板的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种复合基板以及复合基板的制造方法。

背景技术

以往公知有在由支撑基板和压电基板贴合而成的复合基板上，设置电极以制作弹性波元件的技术。这里，弹性波元件作为例如手机等的通信设备的带通滤波器来使用。例如在专利文献1中，记载了使用铌酸锂或钽酸锂作为压电基板、使用硅或石英等作为支撑基板的复合基板。另外，还记载了使用由旋涂法涂布的紫外线硬化粘结剂来将压电基板和支撑基板贴合的方法。

现有技术文献

专利文献

专利文献1特开2006-319679号公报

发明内容

发明要解决的技术问题

但是，通过旋涂法在支撑基板上涂布粘结剂的话，由于旋涂时的离心力，在被涂布的粘结剂的外周部产生凸起部分。这样介由有凸起部分的粘结剂来粘结支撑基板和压电基板的话，在凸起部分会发生粘结不良，有时会导致支撑基板和压电基板剥离。通常认为产生这样的剥离是因为在粘结层的凸起部分和压电基板之间进入了气泡。

本发明是鉴于上述问题而提出的，其主要目的在于，对于介由在外周部存在凸起部分的粘结层而粘结的支撑基板和压电基板，良好地保持其粘结状态。

解决问题的技术手段

本发明中，为了达到上述目的采用了以下的方法。

本发明的复合基板是压电基板和支撑基板介由粘结层粘结而成的复合基板，所述粘结层包括平坦部分和形成于该平坦部分的外周部的凸起部分，所述压电基板包括与所述粘结层的所述平坦部分粘结的第一面和该第一面的相反侧的第二面，该压电基板避开所述凸起部分粘结于所述支撑基板。

虽然该复合基板在粘结层的外周部存在凸起部分，但压电基板避开该凸起部分粘结于支撑基板。因此，粘结层的凸起部分和压电基板之间难以进入气泡。由此，可以防止由这样的气泡而引起的剥离。因此，可以良好地保持介由在外周部存在凸起部分的粘结层而粘结的支撑基板和压电基板的粘结状态。

本发明的复合基板的所述压电基板中，该压电基板的第一面的外周缘与所述粘结层的所述凸起部分和所述平坦部分的边界相接。由此，作为压电基板与粘结层的接合面的第一面的端部通过粘结层的凸起部分而被保护。因此，可以防止由在清洗复合基板时所使用的酸或碱溶液造成的压电基板和粘结层的剥离。

本发明的复合基板中，该压电基板形成有膨出部，使得将该压电基板的所述第一面向着该压电基板的第二面按垂直方向投影的话，该第一面进入该第二面的内侧。由此，可以防止在对复合基板进行热处理时，压电基板产生裂纹。其理由推测如下。即，压电基板存在膨出部，使得相比于由粘结层粘结于支撑基板的压电基板的第一面，没有被粘结的压电基板的第二面更大，自由度高的第二面一侧的体积比较大。由此推测，由于存在该膨出部，使得被加热时，支撑基板以及压电基板的膨胀·收缩而产生的端部的应力能够缓和。在这种情况下，所述压电基板中，该压电基板的所述第一面与该压电基板的外周面所成的角为钝角。

本发明的复合基板的制造方法，包括如下工序：

(a)准备压电基板的工序；

(b)通过旋涂法在支撑基板涂布粘结剂的工序；

(c)通过所述粘结剂将所述支撑基板和所述压电基板贴合形成复合基板的工序，

所述工序(a)中准备的压电基板包括第一面，该压电基板形成为如下形状，该形状使得在进行所述工序(c)的所述压电基板的贴合时，该第一面能够与所述工序(b)中由于旋涂法而产生的所述粘结剂的平坦部分粘结，并且该压电基板能够避开所述工序(b)中由于旋涂法而在所述平坦部分的外周部产生的所述粘结剂的凸起部分，所述工序(c)中，所述第一面与所述工序(b)中由于旋涂法而产生的所述粘结剂的平坦部分粘结，并且该压电基板避开所述工序(b)中由于旋涂法而在所述平坦部分的外周部产生的所述粘结剂的凸起部分地进行所述贴合。

根据本发明的复合基板的制造方法，虽然工序(b)中由于旋涂法而在粘结剂的外周部产生凸起部分，但在工序(c)中，压电基板避开该凸起部分地粘结于支撑基板。因此，粘结层的凸起部分和压电基板之间难以进入气泡。由此，以该制造方法制造的复合基板可以防止由这样的气泡而引起的剥离。因此，可以得到介由在外周部存在凸起部分的粘结层而粘结的支撑基板和压电基板的粘结状态良好的复合基板。

附图说明

图1是复合基板10的平面图。

图2是图1的A-A线的截面图。

图3是示意性地示出复合基板10制造过程的截面图。

图4是表示变形例的复合基板的概略的截面图。