[发明专利]一种磁控管以及应用该磁控管的磁控溅射设备

权利要求书

1.一种磁控管，包括极性相反的外磁极和内磁极，在垂直于所述外磁极的中心线的截面上，所述外磁极为闭合的环形，所述内磁极设置在所述环形的外磁极所围绕而成的腔体内，其特征在于，所述内磁极包括三个以上子内磁极，所述三个以上子内磁极围绕所述外磁极的中心线设置，从而在所述外磁极和内磁极之间形成与所述子内磁极数量对应地通道。

2.根据权利要求1所述的磁控管，其特征在于，所述子内磁极均匀地设置在所述外磁极的中心线的周围。

3.根据权利要求2所述的磁控管，其特征在于，所述子内磁极的数量为三个。

4.根据权利要求1所述的磁控管，其特征在于，在所述外磁极的内壁上设有朝向其中心线方向突出的凸部，所述凸部将所述外磁极的内部分隔成数量与所述子内磁极的数量对应的子腔体，每个所述子腔体内设置一个所述子内磁极，从而在所述外磁极和内磁极之间形成与所述子内磁极数量对应地环形通道。

5.根据权利要求1所述的磁控管，其特征在于，所述子内磁极在垂直于所述外磁极的中心线的截面上的形状为“银杏叶”形状或“马蹄”形状或扇形。

6.根据权利要求1所述的磁控管，其特征在于，所述内磁极包括内磁极本体和多个第一磁体，所述第一磁体沿所述内磁极本体的轮廓均匀设置；所述外磁极包括外磁极本体和多个第二磁体，所述第二磁体沿所述外磁极本体的轮廓均匀设置，而且，设置在所述内磁极本体上的第一磁体的极性与设置在所述外磁极本体上的第二磁体的极性相反。

7.根据权利要求6所述的磁控管，其特征在于，所述第一磁体和所述第二磁体为磁铁。

8.根据权利要求1所述的磁控管，其特征在于，所述外磁极和所述内磁极之间的所述通道的宽度为20～30mm。

9.根据权利要求8所述的磁控管，其特征在于，所述外磁极和所述内磁极之间的所述通道的宽度为25.4mm。

10.一种磁控溅射设备，包括靶材以及设置于靶材上方的磁控管，所述磁控管用以对所述靶材表面进行扫描，其特征在于，所述磁控管采用权利要求1-9中任意一项所述的磁控管。