[发明专利]生产管理系统和生产管理方法、控制程序、可读存储介质

说明书

技术领域

本发明涉及在例如对LSI制造工厂的化合物半导体工厂等的再开发、手动工厂中，对在使用至少包含离线（off line）装置的一个或多个处理装置来制造发光二极管（LED）、半导体激光器元件等半导体发光元件等的半导体元件时的生产进行管理的生产管理系统以及使用其的生产管理方法、用于使计算机执行该生产管理方法的控制程序、储存有该控制程序的计算机可读取的可读存储介质。

背景技术

在现有的LSI制造工厂等中，在专利文献1中，提出了如下这样的控制系统：在半导体制造工序的批次搬运中，以对自动搬运设备和搬运机器进行自动控制/管理的系统为前提，基于设备运转状况的收集和设备处理计划的计算、需要的搬运台车数的计算结果，以等待时间为最短的方式进行搬运指示。在该控制系统中，关于生产自动化控制技术，在使生产装置和搬运高度自动化/在线（on line）化的半导体制造线中，通过进行信息的自动取得和时间计算等，从而能实现对产品的极详细的指示，能实现搬运控制最佳化、特别是搬运等待时间极小化。

在专利文献2中提出了如下这样的控制系统：在半导体制造工序的批次搬运中，以对自动搬运设备和搬运机器进行自动控制/管理的系统为前提，基于设备运转状况的收集和设备处理计划的计算、需要的搬运台车数的计算结果，以等待时间为最短的方式进行搬运指示。在该控制系统中，作为能使半导体制造工厂的人的/时间的损失明显化的系统/程序技术，报告了如下方法：为了进行批次进展状况的详细分析和装置运转状态的分析，接受来自装置的事项（event）信息（不是SECS（SEMI Equipment Communications Standard：半导体设备通信标准）），判定该事项是哪个批次的信息、在哪个装置/端口中进行处理，在数据库中积蓄信息。

在专利文献3中提出了如下这样的控制系统：在半导体制造工序的批次搬运中，以对自动搬运设备和搬运机器进行自动控制/管理的系统为前提，基于设备运转状况的收集和设备处理计划计算、需要的搬运台车数的计算结果，以等待时间为最短的方式进行搬运指示。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2010-247911号公报；

专利文献2：日本特开2005-242987号公报；

专利文献3：日本特开2005-100092号公报。

在专利文献1中公开的现有技术，是以设备和搬运系统的在线化/CIM化为前提的系统，当然，在初期设备投资中需要庞大的工时、庞大的反复试验以及庞大的调整，初期设备投资额也是极大的。此外，在专利文献2、3中公开的现有技术中，也和专利文献1的情况同样地，是以设备和搬运系统的在线化/CIM化为前提的系统，当然，需要庞大的工时、庞大的反复试验以及庞大的调整，初期设备投资额也是极大的。

总之，上述专利文献1～3的现有技术全部是以在线自动化控制为前提的技术，特别是，在对手动搬运／离线装置进行展开的情况下，在面向自动搬运和在线管理的装置改造中，需要庞大的工时、庞大的反复试验以及庞大的调整，需要高额的投资，在线装置和离线装置混合的生产线、以及在廉价的劳动力环境下以离线处理为前提的生产线、在线再开发中控制方法大幅度地改变的生产线以及在小规模生产中非自动化地极力抑制了投资额的生产线等中，其实现是困难的。

在对LSI制造工厂的化合物半导体工厂等的再开发、手动工厂的有效利用时，要求有如下这样的技术：对离线的手动处理进行低投资并且以在线为标准的管理，实现省人工化、操作错误的防止。

发明内容

本发明解决了上述现有的问题，其目的在于，提供了一种在手动搬运／离线装置存在的生产线中，能进行面向操作管理以及省人工化的导航，实现操作的高效化以及操作错误的防止的生产管理系统以及使用其的生产管理方法、用于使计算机执行该生产管理方法的控制程序、储存有该控制程序的计算机可读取的可读存储介质。

本发明的生产管理系统，具有：各管理个人计算机，对包含离线装置的多个处理装置分别附加固有的ID；读卡器，与该各管理个人计算机分别连接，能读取对多个批次分别附加了固有的ID以及处理信息的数据卡的内容来作为每个操作者的生产信息；以及主机装置，与该各管理个人计算机进行信息交换来管理工序，该各管理个人计算机向该主机装置上载生产信息，基于上载的生产信息，该主机装置将操作指示信息下载到与其对应的管理个人计算机中，由此实现上述目的。