[发明专利]多晶硅铸锭炉运行中热电偶温度补偿方法、装置和系统无效
| 申请号: | 201110430072.6 | 申请日: | 2011-12-20 |
| 公开(公告)号: | CN102425003A | 公开(公告)日: | 2012-04-25 |
| 发明(设计)人: | 梁仁和;李晓平;李文博;王丽丽 | 申请(专利权)人: | 北京京仪世纪电子股份有限公司 |
| 主分类号: | C30B11/00 | 分类号: | C30B11/00;C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 戴云霓 |
| 地址: | 100079 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 多晶 铸锭 运行 热电偶 温度 补偿 方法 装置 系统 | ||
1.一种多晶硅铸锭炉运行中热电偶温度补偿方法,其特征在于,所述方法包括:
在多晶硅铸锭炉运行过程中,按照预设的时间间隔周期性地获取多组第一热电偶温度数据和多组第二热电偶温度数据;
根据所述多组第一热电偶温度数据和所述多组第二热电偶温度数据,生成第二热电偶的温度补偿数据;
当所述第一热电偶发生故障时,以所述第二热电偶取代所述第一热电偶,并将当前第二热电偶的温度数据与所述第二热电偶的温度补偿数据之和来替代第一热电偶的温度数据。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,
在多晶硅铸锭炉运行过程中,按照预设的时间间隔周期性地获取对应于同一阶段和同一步号下的多组第一热电偶温度数据和多组第二热电偶温度数据;
根据同一阶段和同一步号下的多组第一热电偶温度数据和所述多组第二热电偶温度数据,生成与所述阶段和步号相对应的第二热电偶的温度补偿数据;
当所述第一热电偶发生故障时,以所述第二热电偶取代所述第一热电偶,并将当前第二热电偶的温度数据与当前所处阶段和当前所处步号对应的第二热电偶的温度补偿数据之和来替代第一热电偶的温度数据。
3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述根据所述多组第一热电偶温度数据和所述多组第二热电偶温度数据,生成第二热电偶的温度补偿数据包括:
计算所述多组第一热电偶温度数据和所述多组第二热电偶温度数据对应的多个温度差值;
计算所述多个温度差值的平均值,将所述多个温度差值的平均值作为第二热电偶的温度补偿数据。
4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述第一或第二热电偶采用铂铑丝热电偶。
5.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述以所述第二热电偶取代所述第一热电偶包括:将第一热电偶上的接线插头换到第二热电偶上,同时将第二热电偶接线插头短接。
6.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述方法还包括:
通过工控机界面实现人机交互,接收用户输入的温度补偿值;
将所述温度补偿值存储到可编程控制器PLC的存储器中,以将所述温度偿值作为第二热电偶的温度补偿数据。
7.一种多晶硅铸锭炉运行中热电偶温度补偿装置,其特征在于,所述装置包括:
数据获取单元,用于在多晶硅铸锭炉运行过程中,按照预设的时间间隔周期性地获取多组第一热电偶温度数据和多组第二热电偶温度数据;
温度补偿数据计算单元,用于根据所述多组第一热电偶温度数据和所述多组第二热电偶温度数据,生成第二热电偶的温度补偿数据;
温度补偿单元,用于当所述第一热电偶发生故障时,以所述第二热电偶取代所述第一热电偶,并将当前第二热电偶的温度数据与所述第二热电偶的温度补偿数据之和来替代第一热电偶的温度数据。
8.根据权利要求7所述的装置,其特征在于,
所述数据获取单元,具体用于在多晶硅铸锭炉运行过程中,按照预设的时间间隔周期性地获取对应于同一阶段和同一步号下的多组第一热电偶温度数据和多组第二热电偶温度数据;
所述温度补偿数据计算单元,具体用于根据同一阶段和同一步号下的多组第一热电偶温度数据和所述多组第二热电偶温度数据,生成与所述阶段和步号相对应的第二热电偶的温度补偿数据;
所述温度补偿单元,具体用于当所述第一热电偶发生故障时,以所述第二热电偶取代所述第一热电偶,并将当前第二热电偶的温度数据与当前所处阶段和当前所处步号对应的第二热电偶的温度补偿数据之和来替代第一热电偶的温度数据。
9.一种多晶硅铸锭炉运行中热电偶温度补偿系统,其特征在于,所述系统包括:
多晶硅铸锭炉,顶部安装有第一热电偶和第二热电偶;
可编程逻辑控制器PLC,与所述第一热电偶和第二热电偶相连,用于在多晶硅铸锭炉运行过程中,按照预设的时间间隔周期性地获取多组第一热电偶温度数据和多组第二热电偶温度数据;根据所述多组第一热电偶温度数据和所述多组第二热电偶温度数据,生成第二热电偶的温度补偿数据;当所述第一热电偶发生故障时,以所述第二热电偶取代所述第一热电偶,并将当前第二热电偶的温度数据与所述第二热电偶的温度补偿数据之和来替代第一热电偶的温度数据。
10.根据权利要求9所述的系统,其特征在于,所述系统还包括:
工控机,与所述可编程逻辑控制器PLC相连,用于通过工控机界面实现人机交互,接收用户输入的温度补偿值;和/或,用于显示阶段名称、步号、经过PLC运算得出的温度补偿值或者用户自己确定的温度补偿值。
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