[发明专利]一种准分子激光气配置装置的钝化方法

说明书

 

技术领域

本发明涉及一种准分子激光气配置装置的钝化方法，特别是一种氟化氩准分子激光气体配置装置的钝化方法。

背景技术

准分子激光气用于眼科疾病的治疗已经有约三十年的发展历史。各种含F2准分子激光气体种类众多，其中F2气体是组成其中比不可少的成分，是手术时激光的主要能量提供源。我国从90年代初开始进口准分子激光机，国产机型亦于2001年研制成功。但是其昂贵且消耗大量工作气源激光气，激光气基本上依赖进口，虽有少量国产气投放入市场，但是大多存在能量不稳当，保存期短等不足之处。分析其原因可知，在激光气中，F2含量甚微，并对组成成分误差要求又极为严格。因此在配置过程中，不允许F2的含量有任何变化。而保证上述要求的关键问题之一，是配置装置需要有极强的抗F2腐蚀能力。众所周知，F是世界上最活泼的元素。几乎可以和所有元素发生反应。目前，常用的金属耐F2腐蚀的方法一般是以N2为基质气体，通入不同F2含量的混合气，让其自发在金属表面形成一层金属氟化膜。这种方法可以满足一般要求。但是，对于F2含量甚微，且需要含量极其稳定的特殊气体，使用上述方法并不能满足需求。

发明内容

本发明的目的在于提供一种抗F2腐蚀能力强，可以使激光输出能量稳定的一种准分子激光气配置装置的钝化方法。

本发明提供一种准分子激光气配置装置的钝化方法，其特征在于：其包括以下步骤，

步骤一：钝化前处理：清理准分子激光气配置装置中的杂质，并用N2吹除准分子激光气配置装置；

步骤二：钝化处理：在准分子激光气配置装置中通入F2和He的混合气体，恒温恒压一段时间后用N2吹除准分子激光气配置装置；

步骤三：通入N2后密封，完成准分子激光气配置装置的钝化。

在上述技术方案的基础上，所述步骤二具体包括以下步骤：

A）将准分子激光气配置装置温度保持在40-60℃并恒温0.5~1小时，将所述准分子激光气配置装置抽真空，并通入压力为0.2~0.5MPa、F2的含量为2~5%，其余为He的混合气体，其中F 2的含量为2~5%，其余为He，恒温恒压8小时后减压并用N2吹除准分子激光气配置装置；

B）将准分子激光气配置装置温度保持在-20~-40℃并恒温0.5~1小时，将所述准分子激光气配置装置抽真空，并通入压力为0.2~0.5MPa、F2的含量为0.5~1%，其余为He的混合气体，恒温恒压8小时后减压并用N2吹除准分子激光气配置装置；

C）将准分子激光气配置装置保持在常温并恒温0.5~1小时，将所述准分子激光气配置装置抽真空，并通入压力为0.1~0.2MPa、F2的含量为0.05~0.1%，其余为He的混合气体，恒温恒压24小时后减压并用N2吹除准分子激光气配置装置。

在上述技术方案的基础上，所述步骤三中通入的N2压力为0.05MPa。

与现有技术相比较，本发明使用分子量小、扩散能力强的He气体替代了现有技术中N2，并且变化了钝化的温度条件，因此，氧化膜的形成稳定而且致密，因渗透程度的增加而坚韧牢固，有效的防治了金属基体的进一步腐蚀。配置的准分子激光器输出能量稳定，能量分布均匀。完全能满眼科手术激光治疗的要求，并且成本低。

 

【附图说明】

图1为本发明一种准分子激光气配置装置的钝化方法示意图；

【具体实施方式】

以下结合附图对本发明作进一步详细说明。

情参考图1，本发明一种准分子激光气配置装置的钝化方法,该方法包括以下步骤：

第一步：钝化前处理：清理配置装置中的杂质，并用N2吹除准分子激光气配置装置；具体为清理配置装置中管道内污垢等杂质，再用高纯度的N2吹除，之后密封待用。

步骤二：钝化处理：在准分子激光气配置装置中通入F2和He的混合气体，恒温恒压一段时间后用N2吹除准分子激光气配置装置；具体分三个步骤：

A）将准分子激光气配置装置温度保持在40-60℃并恒温0.5~1小时，将所述准分子激光气配置装置抽真空，并通入压力为0.2~0.5MPa、F2的含量为2~5%，其余为He的混合气体，其中F 2的含量为2~5%，其余为He，恒温恒压8小时后减压并用N2吹除准分子激光气配置装置；