[发明专利]在碳素钢或球墨铸铁表面制备类金刚石薄膜的方法无效
| 申请号： | 201110426225.X | 申请日： | 2011-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN103160794A | 公开（公告）日： | 2013-06-19 |
| 发明（设计）人： | 张俊彦;张斌;杨涛;强力;郑愉 | 申请（专利权）人： | 中国科学院兰州化学物理研究所 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/06;C23C14/16 |
| 代理公司： | 兰州中科华西专利代理有限公司 62002 | 代理人： | 方晓佳 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 碳素钢 球墨铸铁 表面 制备 金刚石 薄膜 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种在碳素钢或球墨铸铁表面制备类金刚石薄膜的方法，其特征在于该方法依次步骤为：
A将碳素钢或球墨铸铁进行常规除油清洗，然后在丙酮和乙醇溶液中依次进行超声清洗；
B将将碳素钢或球墨铸铁样品置于多靶溅射真空系统中并预抽真空至2×10-3Pa；
C高频脉冲磁控溅射粘着层，以金属Ti靶或Cr靶为阴极，工作气体为氩气，沉积时间10～30min；
D反应磁控溅射缓冲层，以金属靶为阴极，工作气体为氩气和甲烷或氩气和乙烯，沉积时间30～60min；
E反应溅射沉积成分渐变复合类金刚石薄膜，工作气体为氩气和甲烷或氩气和乙烯，沉积时间20～120min；自然冷却后得到多层类金刚石复合薄膜。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院兰州化学物理研究所，未经中国科学院兰州化学物理研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201110426225.X/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
