[发明专利]真空蒸发系统

权利要求书

1.一种真空蒸发系统，包括真空腔室、蒸发源、电磁感应圈以及托架；所述托架设置在所述真空腔室的底部，所述电磁感应圈设置在所述托架上方，与所述托架相对，其特征在于，基板设置在所述真空腔室的上部，所述蒸发源为多个，所述真空蒸发系统还包括移动支架，所述多个蒸发源排列放置在所述移动支架上，所述移动支架将蒸发源送至所述托架上方，所述托架将蒸发源托送至所述电磁感应圈中通过电磁感应加热进行蒸发，并在蒸发结束后返回初始位置，将所述蒸发源放回所述移动支架上的初始位置，所述移动支架在所述蒸发源放回到初始位置时，进行移动并将下一蒸发源送至所述托架上方，进行下一次蒸发；

所述真空蒸发系统还包括用于移动所述移动支架的移动装置；所述移动装置与所述移动支架相连，用于带动所述移动支架并使所述移动支架上的蒸发源准确对位到所述托架上方，以便所述托架将蒸发源托送到所述电磁感应圈中；

所述蒸发源包括蒸发坩埚、阻挡板以及气流导向头；所述阻挡板为多块，与蒸发坩埚内部连接，呈迷宫状交叉设置，所述气流导向头与蒸发坩埚顶部连接，为板状，所述气流导向头中心开设有沿轴向贯通的中心孔，所述中心孔为圆柱直孔，所述中心孔外侧的圆周上设有多个贯通的外围孔，所述外围孔直径小于所述中心孔直径，所述外围孔与气流导向头顶面的夹角小于90度且顶端向所述气流导向头的外侧倾斜，以补偿从所述中心孔喷出的气流的强度在周边的不足。

2.一种真空蒸发系统，包括真空腔室、蒸发源、电磁感应圈以及托架；所述托架设置在所述真空腔室的底部，所述电磁感应圈设置在所述托架上方，与所述托架相对，其特征在于，基板设置在所述真空腔室的上部，所述蒸发源为多个，所述真空蒸发系统还包括移动支架，所述多个蒸发源排列放置在所述移动支架上，所述移动支架将蒸发源送至所述托架上方，所述托架将蒸发源托送至所述电磁感应圈中通过电磁感应加热进行蒸发，并在蒸发结束后返回初始位置，将所述蒸发源放回所述移动支架上的初始位置，所述移动支架在所述蒸发源放回到初始位置时，进行移动并将下一蒸发源送至所述托架上方，进行下一次蒸发；

所述真空蒸发系统还包括用于移动所述移动支架的移动装置；所述移动装置与所述移动支架相连，用于带动所述移动支架并使所述移动支架上的蒸发源准确对位到所述托架上方，以便所述托架将蒸发源托送到所述电磁感应圈中；

所述蒸发源包括蒸发坩埚、阻挡板以及气流导向头；所述阻挡板为多层，与蒸发坩埚内部连接，每层阻挡板上开设有多个小孔，且相邻两层阻挡板上的小孔互不对齐，所述气流导向头为板状，中心开设有沿轴向贯通的中心孔，所述中心孔为两端呈喇叭形的直孔，所述中心孔外侧的圆周上设有多个贯通的外围孔，所述外围孔直径小于中心孔直径，两端呈喇叭形，所述外围孔与气流导向头顶面的夹角小于90度且顶端向所述气流导向头的外侧倾斜，以补偿从所述中心孔喷出的气流的强度在周边的不足。

3.根据权利要求1或2所述的真空蒸发系统，其特征在于，所述真空腔室包括隔板，所述隔板将真空腔室隔成上下两层，上层为主真空腔室，所述主真空腔室上部设置基板，所述隔板中部开有蒸发口，供蒸汽气流通过，所述蒸发口一侧设有可封闭蒸发口的闸板阀，所述真空腔室下层一侧开设有密封门，用于更换所述移动支架和蒸发源。

4.根据权利要求1或2所述的真空蒸发系统，其特征在于，所述蒸发源卡放在所述移动支架上，所述移动支架上设置有多组定位环组，每组定位环组包括上下两个定位环，上定位环直径大于蒸发源的直径，下定位环直径小于蒸发源的直径，以卡持一个蒸发源。

5.根据权利要求1或2所述的真空蒸发系统，其特征在于，所述真空蒸发系统还包括托架推动装置；所述托架推动装置包括内推动装置和外推动装置，所述内推动装置设置在真空腔室内部，与托架底部连接，所述外推动装置固定在真空腔室底部的外部，与所述内推动装置相对，所述外推动装置利用磁力推动所述内推动装置上升，以推动所述托架上升。

6.根据权利要求1或2所述的真空蒸发系统，其特征在于，所述蒸发源底部装有蒸发料，所述蒸发料是单一材料，或者是多种材料的混合材料，所述混合材料是机械混合料，或者是通过把多种材料溶解在溶剂中再加入到基质中使其含有微量杂质，所述蒸发料预先称量后装入所述蒸发源并一次蒸发完。