[发明专利]一种内嵌式聚焦探针

权利要求书

1.一种内嵌式聚焦探针，包括复合探针（1）、单口基座（2）、密封头（3）、吸管（7）以及基体（9），其中：

该复合探针（1）包含底座部分（12）以及同轴且垂直于该底座部分（12）的内层管（13）及外层管（14），该内层管（13）套在该外层管（14）中；

该单口基座（2）包含有互相垂直的中心管（21）和底座部分（22），该中心管（21）远离该单口基座（2）的底座部分（22）的端部套在该内层管（13）的中心孔（11）中；

该密封头（3）包含互相垂直的底座部分（31）和管状的延伸部分（32），该密封头（3）的底座部分（31）密封地套在该复合探针（1）的内层管（13）的外部，并顶住该复合探针（1）的外层管（14）的端部；该延伸部分（32）密封地套在该复合探针（1）的该外层管（14）的外表面；

第一内套（4）同时套在该延伸部分（32）的外表面、该复合探针（1）的底座部分（12）以及该复合探针（1）未被该延伸部分（32）包覆的内层管（13）的外部；该第一内套（4）套住该复合探针（1）的底座部分（12）的端部连接有固定环（6）；该固定环（6）上分布有过油孔（61）；

该单口基座（2）及该基体（9）通过第二内套（5）连接为一体；该基体（9）包含有中心通孔，该单口基座（2）包含伸入该基体（9）的台阶（23），该台阶（23）的外表面接触该中心通孔的内壁，且该台阶（23）的内表面接触该第二内套（5）的外表面；

密封头（3）的底座部分（31）还固定连接有轴线与该中心孔（11）的轴线平行的导向销（10），该导向销（10）的另一端伸入基体（9）中；

该中心孔（11）与该中心管（21）联通，该单口基座（2）的底座部分（22）设置有与该中心管（21）联通的第一管路（24）；

该单口基座（2）的底座部分（22）还设置有与该第一管路（24）不相联通的第二管路（26），该吸管（7）与该第二管路（26）联通并固定在单口基座（2）上，伸入该内层管（13）与该外层管（14）之间的通路空间中；该密封头（3）的底座部分（31）设置有平行于该中心孔（11）轴线的外吸孔（33），该外吸孔（33）与该通路空间相联通。

2.根据权利要求1所述的内嵌式聚焦探针，其中：

该复合探针（1）的内层管（13）的高度比外层管（14）的高度高。

3.根据权利要求1所述的内嵌式聚焦探针，其中：

该第二内套（5）套在该第一内套（4）的外表面。

4.根据权利要求1所述的内嵌式聚焦探针，其中：

该固定环（6）与该复合探针（1）的底座部分（12）之间留有第一空间（50），与该单口基座（2）的底座部分（22）之间留有第二空间（60），该第一空间（50）与第二空间（60）通过该过油孔（61）相联通。

5.根据权利要求1所述的内嵌式聚焦探针，其中：

基体（9）的该中心通孔不接触该台阶（23）外表面的部分，接触该第二内套（5）的外表面。

6.根据权利要求1所述的内嵌式聚焦探针，其中：

该导向销（10）可在该基体（9）中滑动。

7.根据权利要求1所述的内嵌式聚焦探针，其中：

该单口基座（2）与该基体（9）相接触的表面上，设置有内陷的第一导流槽（25）与该第一管路（24）联通；该基体（9）与该单口基座（2）相接触的表面上，设置有内陷的第二导流槽（91）与该第一导流槽（25）对接。

8.根据权利要求7所述的内嵌式聚焦探针，其中：

该单口基座（2）与该基体（9）相接触的表面上，还设置有内陷且与该第一导流槽（25）不相联通的第三导流槽（27），该第三导流槽与该第二管路（26）联通；该基体（9）与单口基座（2）相接触的表面上，还设置有内陷且与该第二导流槽（91）不相联通的第四导流槽（92），该第四导流槽（92）与该第三导流槽（27）对接。

9.根据权利要求1所述的内嵌式聚焦探针，其中：

该吸管（7）采用背母（8）固定在该单口基座（2）上。