[发明专利]双轴浮动定子线性平台无效
申请号: | 201110421784.1 | 申请日: | 2011-12-15 |
公开(公告)号: | CN102522356A | 公开(公告)日: | 2012-06-27 |
发明(设计)人: | 王红;禹新路;李泽湘;高宜铭;潘明 | 申请(专利权)人: | 东莞华中科技大学制造工程研究院 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/68 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 523808 广东省东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 浮动 定子 线性 平台 | ||
1.一种双轴浮动定子线性平台,所述平台包括基座,所述基座上固定有第一方向驱动装置、第二方向驱动装置,以及与所述第一方向驱动装置和第二方向驱动装置连接的工作台;其特征在于:所述第一方向驱动装置和第二方向驱动装置中的驱动电机驱动所述工作台运动时,所述驱动电机的定子沿所述工作台运动方向的反方向运动。
2.如权利要求1所述的双轴浮动定子线性平台,其特征在于:所述驱动电机的定子两端设置有阻尼装置和柔性装置,所述驱动电机的定子沿所述工作台运动方向的反方向运动时,所述阻尼装置和柔性装置与所述基座碰撞,使所述定子的运动反向。
3.如权利要求2所述的双轴浮动定子线性平台,其特征在于:所述柔性装置为弹簧或橡胶。
4.如权利要求2所述的双轴浮动定子线性平台,其特征在于:所述阻尼装置为阻尼器或缓冲器。
5.如权利要求2所述的双轴浮动定子线性平台,其特征在于:所述第一方向驱动装置和第二方向驱动装置分别包括定子基座,所述驱动电机的定子可滑动地设置于所述定子基座的导轨上,所述阻尼装置设置于所述导轨上;所述定子基座的两端固定有端盖,所述柔性装置设置于所述端盖与定子之间。
6.如权利要求5所述的双轴浮动定子线性平台,其特征在于:所述柔性装置为一对弹簧,所述阻尼装置为两个同轴的阻尼器,所述驱动电机的定子连接在所述同轴的阻尼器之间。
7.如权利要求1所述的双轴浮动定子线性平台,其特征在于:所述工作台上固定有记录所述工作台位移的位置反馈装置。
8.如权利要求7所述的双轴浮动定子线性平台,其特征在于:所述位置反馈装置为光栅尺,其装设在所述工作台的所述第一方向和/或第二方向上。
9.如权利要求1所述的双轴浮动定子线性平台,其特征在于:所述驱动电机为音圈电机。
10.如权利要求1所述的双轴浮动定子线性平台,其特征在于:所述工作台包括低层工作台与高层工作台,所述第二方向驱动装置的驱动电机通过连接臂驱动所述高层工作台在第二方向上直线运动,所述第一方向驱动装置的驱动电机通过连接臂驱动所述低层工作台和高层工作台在第一方向上直线运动。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造