[发明专利]用于多重图案化技术的单元布局

权利要求书

1.一种方法，包括：

将布置区域中的多个区域标记为第一区域或者第二区域，所述布置区域具有多个单元；

分析单元的子图案的类型，通过第一掩模和第二掩模限定所述子图案；

将所述第一区域与所述第一掩模相关联，将所述第二区域与所述第二掩模相关联；以及

判断所述单元的边界区域是否包含通过与所述边界区域不相关联的掩模限定出的图案，相邻单元的所述边界区域是相交替的。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述标记包括：将一个或者多个区域标记为第三区域。

3.根据权利要求1所述的方法，其中，所述第一区域的宽度和所述第二区域的宽度取决于聚合物间距。

4.根据权利要求1所述的方法，进一步包括：当判断出所述边界区域包含有通过与所述边界区域不相关联的掩模限定出的图案，则修改所述单元的所述子图案，

其中，所述修改包括修改所述掩模。

5.一种方法，包括：

接收多个单元定义，每个所述单元定义均包括边界区域的标记，每个所述边界区域标记了多个掩模中的一个，每个所述单元定义均进一步包括单元布局；以及

将第一单元置于邻近第二单元的位置，从而使得所述第一单元的边界区域的类型与所述第二单元的边界区域的类型不同。

6.根据权利要求5所述的方法，其中，所述边界区域的宽度基于聚合物间距。

7.根据权利要求5所述的方法，其中，将特有的区域标识分配给所述多个掩模中的一个，

其中，所述特有的区域标识是颜色。

8.根据权利要求5所述的方法，其中，所述边界区域包括第一边界区域，并且进一步包括判断第一边界区域是否包含有与所述第一边界区域不相关联的掩模，

其中，当确定出所述第一边界区域包含有与所述第一边界区域不相关联的掩模时，修改所述单元布局，

其中，所述修改包括修改所述掩模。

9.根据权利要求5所述的方法，其中，所述第一单元与相邻单元类型相同。

10.一种计算机程序产品，所述计算机程序产品具有其上嵌入有计算机程序的非瞬时性、计算机可读介质，所述计算机程序包括：

用于接收布置区域的计算机程序代码，所述布置区域具有多个单元；

用于标记所述布置区域中的多个区域的计算机程序代码，所述多个区域被分为多种区域类型；

用于标记其中设置有区域单元图案的计算机程序代码；以及

用于将单元图案置于所述布置区域中从而使得相邻元件的边界区域不同的计算机程序代码，

其中，所述区域的类型被可视地标记在显示器上，

其中，所述区域的类型通过不同颜色被可视地标记出。