[发明专利]薄膜太阳能电池用背面电极带及薄膜太阳能电池制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种薄膜太阳能电池用背面电极带及使用该背面电极带的薄膜太阳能电池的制造方法。更详细而言，涉及一种能够用简便的制造方法制造薄膜太阳能电池，并且能够有效利用入射的太阳光来提高薄膜太阳能电池的发电效率的薄膜太阳能电池用背面电极带。

背景技术

目前，从环保的立场，正在推进绿色能源的研究开发和实用化，从作为能源的太阳光取之不尽且为无公害等方面，太阳能电池备受瞩目。以往，太阳能电池一直利用单晶硅或多晶硅块状太阳能电池，但是由于块状太阳能电池的制造成本较高且生产率也较低，因此急需开发尽量节约硅量的太阳能电池。

因此，致力开发利用厚度例如为0.3～2μm的非晶硅等的半导体的薄膜太阳能电池。该薄膜太阳能电池由于是在玻璃基板或耐热性塑料基板上形成光电转换所需的量的半导体层的结构，因此有薄型且轻量、低成本及容易大面积化等优点。

薄膜太阳能电池有覆板(ス一パ一ストレ一ト)型结构和基板(サブストレ一ト)型结构，覆板型结构由于从透光性基板侧入射太阳光，因此通常采取以基板-透明电极-光电转换层-背面电极的顺序形成的结构。

图1中示出薄膜太阳能电池的截面图的一例。另外，图1为覆板型的例子。图1中，在基板40上形成有透明导电膜50、形成光电转换层的非晶Si层61和微晶Si层62、透明导电膜10、导电性反射膜20及加强膜30。图1的P1、P2及P3表示制造时激光划线的部位。图1中，在比P3更靠左部形成1个薄膜太阳能电池，通过透明导电膜50与隔着P3邻接的右侧的薄膜太阳能电池电性串联连接。在此，在薄膜太阳能电池中，由于从光电转换层观察时透明导电膜10和导电性反射膜20形成于太阳光的输入侧的相反面，因此一并称为背面电极。

接着，图2中示出以往的一般的薄膜太阳能电池的制造方法。另外，图2为覆板型的例子。图2中，(A)首先准备基材40。(B)用溅射等真空成膜法在基材40上形成透明导电膜50。(C)从上面进行激光划线P1加工(虚线表示激光照射位置)，对透明导电膜50进行图案形成。(D)用溅射等真空成膜法在图案形成的透明导电膜50上形成光电转换层60(与图1的非晶Si层61和微晶Si层62对应)。(E)从下面进行激光划线P2加工(虚线表示激光照射位置)，对光电转换层60进行图案形成。(F)用溅射等真空成膜法在图案形成的光电转换层60上形成透明导电膜10、导电性反射膜20及加强膜30。(G)从下面进行激光划线P3加工(虚线表示激光照射位置)，对透明导电膜10、导电性反射膜20及加强膜30进行图案形成。如以上，一般的薄膜太阳能电池的制造方法的制造工序数较多，从而要求制造工序数的缩短化。

如上述，一般的薄膜太阳能电池的制造方法中，以往用溅射等真空成膜法形成透明导电膜10、50或导电性反射膜20等，但是一般在导入、维持、运行大型的真空成膜装置时需要巨大成本。为了改良这一点，公开了使用透明导电膜用组合物和导电性反射膜用组合物并以作为更廉价的制造方法的湿式涂层法形成透明导电膜和导电性反射膜的技术(专利文献1)。然而，即使根据上述湿式涂层法，也会直接在光电转换层上分别对透明导电膜用组合物和导电性反射膜用组合物进行涂布或固化等，因此导致薄膜太阳能电池的制造工序数变多，从而希望使制造工序数缩短化、简略化、效率化。上述湿式涂层法中，对基材一层一层进行涂布，与此相对本发明的背面电极带能够由Role to Role连续制造，因此能够使工序进一步简单化、高速化。并且，在上述湿式涂层法中，热处理工序较多，有可能损伤光电转换层，但是通过使用本发明的背面电极带来缩减热处理次数，能够使施加于光电转换层的热进一步低温化。

专利文献1：日本专利公开2009-88489号公报

发明内容

本发明的课题在于能够谋求薄膜太阳能电池的背面电极的制造工序的简略化和效率化，进而省略在一般的薄膜太阳能电池的制造中使用的激光划线工序的一部分(图2的(G)的激光划线P3加工)，并可实现薄膜太阳能电池的制造工序的高速化。

本发明涉及一种通过以下所示的方案解决上述课题的薄膜太阳能电池用背面电极带、薄膜太阳能电池的制造方法及薄膜太阳能电池。

[1]一种薄膜太阳能电池用背面电极带，其中，层叠有透明电极薄膜和反射电极薄膜，透明电极薄膜具有粘结性。

[2]如上述[1]所述的薄膜太阳能电池用背面电极带，其中，在反射电极薄膜侧进一步层叠有阻挡层薄膜。