[发明专利]激光光源装置

权利要求书

1.一种激光光源装置，其特征为，具备：

放射激光的激光光源；

棱镜，以供来自该激光光源的激光通过的一侧光学平面与激光的光路正交的状态而设置；以及

振动驱动机构，使该棱镜以如下方式振动：沿着该棱镜的不与所述激光的光路正交的另一侧光学平面所在的平面，在该棱镜中的激光的光路长度发生变化的方向上进行平行移动。

2.一种激光光源装置，其特征为，具备：

放射激光的激光光源；

棱镜，由复合棱镜构成，该复合棱镜是具有构成各顶角的两个光学平面的多个棱镜要素以各棱镜要素的一侧光学平面位于同一平面上且另一侧光学平面的水平位置互相不同的状态，沿棱镜要素的高度方向紧贴配置而成，并且，所述棱镜以所述一侧光学平面和另一侧光学平面的任一方与从激光光源放射的激光的光路正交的状态而设置；以及

振动驱动机构，使该棱镜以如下方式振动：沿着不与所述激光的光路正交的另一侧光学平面所在的平面，在该棱镜中的激光的光路长度发生变化的方向上进行平行移动。

3.根据权利要求2所述的激光光源装置，其特征为，

所述振动驱动机构使所述棱镜以如下方式振动：在所述棱镜的一侧光学平面或另一侧光学平面上，激光描绘出圆状的轨迹。

4.根据权利要求1～3中任意一项所述的激光光源装置，其特征为，

具备多个激光光源，来自各激光光源的激光向共用的棱镜入射。