[发明专利]用于嵌入式触摸传感器液晶显示装置的基板及其制造方法

说明书

技术领域

本公开涉及液晶显示装置，更具体地说，涉及防止接触孔中的金属图案之间的电短路的嵌入式触摸传感器液晶显示装置的基板以及制造该基板的方法。

背景技术

近来，作为由于低功耗和良好便携性而具有高附加值的下一代显示装置的液晶显示(LCD)装置已经成为焦点。包括薄膜晶体管作为多个像素的开关器件的有源矩阵液晶显示(AM-LCD)装置已经由于其在显示运动图像时的高分辨率和优越性而被广泛使用。

通常，通过以下工艺来制造LCD装置：阵列基板工艺，其用于在阵列基板上形成薄膜晶体管和像素电极；滤色器基板工艺，其用于在滤色器基板上形成滤色器层和公共电极；以及单元工艺，其用于在阵列基板与滤色器基板之间形成液晶层。

图1是示出了根据相关技术的液晶显示装置的分解立体图。在图1中，液晶显示(LCD)装置包括阵列基板10、滤色器基板20以及该阵列基板10与该滤色器基板20之间的液晶层30。阵列基板10包括第一基板12、第一基板12上的选通线14、与选通线14交叉以限定像素区P的数据线16、连接到选通线14和数据线16的薄膜晶体管(TFT)T以及连接到该TFT T的像素电极18。

此外，面对阵列基板10的滤色器基板20包括：第二基板22；阻挡与选通线14、数据线16和TFT T相对应的非显示区的黑底25；包括各自与像素区P相对应的红色滤色器26a、绿色滤色器26b和蓝色滤色器26c的滤色器层26；和第二基板22的整个表面上的公共电极28。

尽管图1中未示出，但是密封图案可以形成在阵列基板10与滤色器基板20之间的边界部分，以防止液晶层30泄漏。下朝向膜可以形成在阵列基板10与液晶层30之间，上朝向膜可以形成在滤色器基板20与液晶层30之间，以初始地对液晶层配向。此外，偏振板可以形成在第一基板12和第二基板22中的至少一个的外表面上。

背光单元可以被设置在阵列基板10下方，以提供光。当导通TFT T的选通信号顺序地提供给选通线14时，该TFT T被导通，并且提供给数据线16的数据信号通过该TFT T被提供给像素电极18。结果，在像素电极18与公共电极28之间生成垂直电场，并且液晶层30中的液晶分子通过该垂直电场重新配向，从而LCD装置由于液晶层30的透射率改变而显示图像。

然而，利用该垂直电场驱动的LCD装置在视角方面存在缺点。因此，已经提出了像素电极和公共电极形成在阵列基板上、并且液晶显示分子被像素电极与公共电极之间生成的水平电场来驱动的板内切换(IPS)模式LCD装置或边缘场切换(FFS)模式LCD装置。IPS模式LCD装置或FFS模式LCD装置用于诸如电视、投影仪、移动电话和个人数字助理(PDA)的各种应用产品。另外，各种应用产品具有感测触摸的功能。包括集成在其中的触摸传感器的LCD装置可以被称为嵌入式触摸传感器LCD装置。

用于嵌入式触摸传感器LCD装置的阵列基板具有选通线和数据线以及用于感测触摸的多个触摸块和连接到该多个触摸块的多条感测线。例如，当具有良好移动性的多晶硅薄膜晶体管(TFT)被用作切换元件时，可以通过十一掩膜工艺形成用于嵌入式触摸传感器LCD装置的阵列基板。此外，该阵列基板可以包括选通绝缘层、中间层绝缘层、辅助绝缘层、第一钝化层和第二钝化层。辅助绝缘层包括无机绝缘材料，以改进诸如数据线、源极和漏极的金属材料的导线与有机绝缘材料的第一钝化层之间的粘附。

出于简化制造工艺的目的，形成辅助绝缘层的步骤可以省略。然而，当省略辅助绝缘层时，漏极和连接到数据线的数据焊盘通过第一钝化层中的接触孔露出。所露出的漏极和数据焊盘可能由于用于透明材料的公共电极的蚀刻液或用于第一钝化层上的金属材料的感测线的溶液而劣化。结果，漏极和数据焊盘的接触特性劣化。

发明内容