[发明专利]有机发光显示装置及其制造方法有效
申请号: | 201110409682.8 | 申请日: | 2011-12-09 |
公开(公告)号: | CN102856295B | 公开(公告)日: | 2017-04-12 |
发明(设计)人: | 朴鲜;朴钟贤;李律圭;朴景薰;文相皓 | 申请(专利权)人: | 三星显示有限公司 |
主分类号: | H01L23/498 | 分类号: | H01L23/498;H01L27/32;H01L51/56 |
代理公司: | 北京德琦知识产权代理有限公司11018 | 代理人: | 罗正云,宋志强 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 有机 发光 显示装置 及其 制造 方法 | ||
相关专利申请的交叉引用
本申请要求已于2011年6月28日递交到韩国知识产权局的韩国专利申请No.10-2011-0063049的权益,其公开内容通过引用而整体合并于此。
技术领域
实施例涉及有机发光显示装置及其制造方法。
背景技术
诸如有机发光显示装置或液晶显示装置的平板显示装置被制造在其上形成有包括薄膜晶体管(TFT)、电容器以及用于连接这些元件的布线的图案的基板上。
发明内容
根据实施例,提供了一种有机发光显示装置,包括:薄膜晶体管,包括有源层、包括栅极底部电极和栅极顶部电极的栅电极、绝缘层、位于所述绝缘层上以接触所述有源层的源电极和漏电极;有机发光器件,被电连接到所述薄膜晶体管,且包括由与所述栅极底部电极相同的层组成的像素电极、包括发射层的中间层以及对立电极,所述像素电极、所述中间层和所述对立电极依次层叠;和焊盘电极,包括由与所述栅极底部电极相同的层组成的焊盘底部电极和由与所述栅极顶部电极相同的层组成的焊盘顶部电极,其中所述焊盘顶部电极包括使所述焊盘底部电极暴露的开口,和由与所述焊盘顶部电极相同的层组成的电极图案和覆盖所述电极图案的上表面且由与所述绝缘层相同的层组成的绝缘图案,其中所述电极图案和所述绝缘图案被形成在所述焊盘底部电极的通过所述开口被暴露到外部的上表面上。
所述焊盘底部电极和所述电极图案的通过所述开口被暴露到外部的侧部可以被配置为被电连接到提供电流以驱动所述有机发光显示装置的驱动器IC。
所述焊盘底部电极和所述电极图案的通过所述开口被暴露到外部的所述侧部可以被配置为通过导电球被电连接到所述驱动器IC。
所述电极图案可以被连接到所述焊盘顶部电极。
所述电极图案可以从所述焊盘顶部电极伸出到所述焊盘底部电极的通过所述开口被暴露到外部的至少中央部位。
所述电极图案可以包括使所述焊盘底部电极下方暴露的通孔。
所述焊盘底部电极和所述电极图案的所述侧部可以被配置为通过布置在所述通孔中的导电球被电连接到所述驱动器IC,且所述通孔的最大宽度大于所述导电球的最大宽度。
所述电极图案可以包括被连接到所述焊盘顶部电极的至少一个杆。
所述电极图案和所述绝缘图案可以具有相同的图案。
所述焊盘电极可以通过布线被电连接到所述薄膜晶体管或所述有机发光显示装置。
所述焊盘底部电极可以包括比所述焊盘顶部电极和所述电极图案具有更好耐腐蚀性的材料。
所述栅极底部电极、所述像素电极以及所述焊盘底部电极可以包括透明导电金属氧化物。所述栅极顶部电极、所述焊盘顶部电极以及所述电极图案可以包括Ag、Mg、Al、Pt、Pd、Au、Ni、Nd、Ir、Cr、Li、Ca、Mo、Ti、W、MoW和Cu中的至少一种。
该有机发光显示装置可以进一步包括电容器,所述电容器包括由与所述有源层相同的层组成的电容器底部电极和由与所述栅极底部电极相同的层组成的电容器顶部电极,且所述电容器被电连接到所述薄膜晶体管。
根据实施例,提供一种制造有机发光显示装置的方法,该方法包括:第一掩模操作,在该第一掩模操作中在基板上形成薄膜晶体管的有源层;第二掩模操作,在该第二掩模操作中在基板上形成用于形成像素电极的第一电极单元、栅电极和用于形成焊盘电极的第二电极单元;第三掩模操作,在该第三掩模操作中形成层间绝缘层,所述层间绝缘层具有使所述有源层的两侧上部暴露的接触孔、使所述第一电极单元的部分暴露的开口以及在所述第二电极单元的上表面上的具有预定形状的绝缘图案;第四掩模操作,在该第四掩模操作中形成通过所述接触孔接触所述有源层的源电极和漏电极,所述像素电极由所述第一电极单元形成,包括在所述绝缘图案下面形成的电极图案的所述焊盘电极由所述第二电极单元形成;和第五掩模操作,在该第五掩模操作中暴露使所述像素电极的至少一部分暴露的像素限定层。
所述电极图案和所述绝缘图案可以被形成为具有相同的图案。
所述第二掩模操作可以包括在所述基板上依次形成第一绝缘层、第一导电层以及第二导电层以覆盖所述有源层;和同时将所述第一导电层和所述第二导电层图案化到栅极底部电极和栅极顶部电极内以形成所述栅电极,并图案化到焊盘底部电极和焊盘顶部电极内以形成所述第二电极单元。
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